TAC涂层

作品数:20被引量:115H指数:8
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化学气相沉积生长TaC涂层的高通量热力学分析被引量:1
《材料保护》2024年第4期11-19,38,共10页孙清云 陈辉 李士栋 张翅腾飞 
湖北省自然科学基金(2022CFB936);国家自然科学基金(62204179)资助。
为指导半导体高温炉构件用高纯TaC涂层的生长调控,采用Thermo-calc软件开展TaC涂层生长过程的高通量热力学模拟计算,研究了沉积温度、压强和前驱体组分比对原料利用效率和TaC涂层纯度等指标的影响。模拟结果表明,在“TaCl_(5)+C_(3)H_(6...
关键词:热力学 化学过程 TAC 沉积物 涂层 
TaC对SiC涂层高温耐烧蚀性能的影响被引量:1
《粉末冶金材料科学与工程》2023年第2期120-128,共9页罗骁 陈晔松 康盼 方家 杨鑫 黄启忠 
湖南省自然科学基金面上项目(2021JJ30852)。
以Si粉和Ta2O5粉为原料,采用包埋反应工艺在C/C复合材料表面制备SiC涂层和SiC-TaC复合涂层,通过X射线衍射、扫描电镜和高温等离子火焰(2300℃左右)烧蚀实验,研究TaC对SiC涂层微观结构、高温耐烧蚀性能的影响和影响机理。结果表明:TaC可...
关键词:包埋法 SIC涂层 SiC-TaC涂层 耐烧蚀性能 C/C复合材料 
石墨表面TaC涂层的熔盐法制备及表征被引量:1
《表面技术》2023年第2期297-306,共10页董天下 孟凡桂 陈红梅 张九阳 高超 王宗玉 
目的以K2TaF7和Ta粉为主要原料,在石墨材料表面制备TaC涂层。方法反应物在1200℃的熔盐体系中保温3h,反应生成碳化物,经后续2300℃真空保温1h后,得到TaC涂层材料。采用XRD和SEM对涂层的组成结构进行表征,采用拉开法对涂层的和石墨基体...
关键词:熔盐法 高温热处理 石墨 TAC涂层 耐腐蚀性 
基于碳化钽涂层改性碳基材料的研究进展被引量:3
《新型炭材料》2021年第6期1049-1061,共13页刘兴亮 戴煜 王卓健 吴建 
江西省青年基金项目(20192BAB216009);湖南省科技计划项目(2019WK2051);长沙市科技计划项目(kh2003023).
石墨、炭纤维、炭/炭复合材料等碳基材料广泛应用在航空航天、能源汽车、化工等领域,但炭材料在高温有氧环境下易氧化和不耐氨气、耐划性能较差等缺点,难以满足人们对炭材料越来越苛刻的使用要求,严重制约其发展和实际应用。碳化钽(TaC...
关键词:石墨 炭纤维 炭/炭复合材料 TAC涂层 化学气相沉积 
炭纤维表面原位反应制备TaC涂层及其形成机理研究被引量:2
《中国陶瓷》2017年第8期24-30,共7页朱辉 李轩科 董志军 李艳军 丛野 袁观明 崔正威 
国家自然科学基金资助项目(51372177)
以金属钽粉为钽源,采用原位反应法在炭纤维表面成功制备出连续的TaC涂层,研究了涂层炭纤维的相组成、微观形貌和抗氧化性能,并探究了炭纤维表面连续TaC涂层的形成机理。结果表明,在温度为1000~1400℃时能在炭纤维表面制备出TaC涂层,反...
关键词:原位反应法 炭纤维 TA C涂层 抗氧化性能 生长机理 
高温化学气相沉积法制备致密碳化钽涂层被引量:4
《功能材料》2017年第6期6183-6186,6192,共5页张丽 齐海涛 徐永宽 王利杰 史月增 刘金鑫 
采用高温化学气相沉积法(CVD)在高纯高密石墨基片的表面沉积了碳化钽(TaC)涂层。通过研究气化温度、气体流量及沉积温度对TaC涂层表面质量的影响,确定了高温CVD法制备TaC涂层的工艺参数,最终获得高致密度的TaC涂层。
关键词:高温CVD TAC涂层 工艺条件 
碳基材料表面TaC涂层的研究进展被引量:5
《人工晶体学报》2017年第6期1154-1159,1174,共7页沈小松 王松 李伟 蒋进明 
碳材料在高温有氧环境中的易氧化性极大地制约了其在航天航空领域中的应用,而TaC涂层能够有效改善碳材料的烧蚀氧化性能。本文综述了TaC陶瓷涂层改性抗烧蚀氧化C/C复合材料的研究进展,包括单相TaC涂层、复合涂层体系、梯度涂层体系、固...
关键词:碳材料 碳化钽 抗烧蚀 复相涂层 
TaC涂层的研究现状及应用被引量:9
《陶瓷学报》2017年第1期8-12,共5页张而耕 黄彪 周琼 
校协同创新基金重点项目(10120K158004-XTCX2015-4)
TaC具有高的抗氧化、高硬度、高熔点、良好的耐化学腐蚀和热冲击性能等优异的物理和化学性能,在刀具、磨具、轴承等工件上应用十分广泛。由于受基体的表面状况、材料以及沉积工艺条件的影响,TaC涂层具有不同的表面形貌和择优取向。不同...
关键词:TAC 涂层 耐高温 沉积 
CVD法制备ZrC涂层与ZrC-TaC共沉积涂层的烧蚀性能被引量:3
《粉末冶金材料科学与工程》2016年第6期952-960,共9页宋永忠 李国栋 程家 吴敏 李兴超 樊桢 冯志海 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2011CB605805)
采用ZrCl_4-CH_4-H2-Ar与ZrCl_4-TaCl_5-CH_4-H_2-Ar反应体系,用化学气相沉积(CVD)制备ZrC涂层与ZrC-TaC共沉积涂层,并对其进行氧-乙炔焰烧蚀试验研究。利用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)等分析技术对烧蚀前后ZrC与ZrC-TaC共沉积涂层...
关键词:共沉积 ZrC涂层 ZrC-TaC涂层 烧蚀性能 CVD 
化学气相沉积C-TaC涂层的结构及其摩擦性能被引量:2
《材料研究学报》2016年第9期690-696,共7页吕东泽 陈招科 熊翔 王雅雷 孙威 黎泽豪 
国家重点基础研究发展项目2011CB605805;湖南省科技计划项目2015WK3013;中南大学粉末冶金国家重点实验室项目资助~~
利用Ta Cl5-C3H6-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD),在高纯石墨表面制备了不同炭含量的C-Ta C复相涂层。研究了室温条件下C-Ta C复相涂层的摩擦学性能。采用扫描电镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪等对涂层的微观组织结构及摩擦表...
关键词:复合材料 材料表面与界面 C-TaC复相涂层 化学气相沉积 微观结构 摩擦性能 
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