UFPA

作品数：17被引量：52H指数：3
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热释电薄膜单片式UFPA器件微桥单元结构研究
《红外技术》2010年第1期17-19,共3页马韬 吴传贵 张万里 李言荣 
采用RF溅射制备出Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜,剥离法制备出UFPA器件单元所需的图形化金属电极,TMAH溶液进行体硅腐蚀,并且使用保护胶和独特的夹具保护硅片正面免受腐蚀液的腐蚀。总结了一套制作微桥的简便可行的工艺流程,并最终在厚度为300μ...
关键词：单片式 非制冷红外焦平面阵列 微桥 剥离技术 TMAH 
光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究被引量：3
《红外技术》2004年第1期67-70,共4页杨春丽 黄江平 黎力 杨登全 张丽华 李玉英 
简要介绍了光刻在 1 2 8× 1 2 8混合式非制冷热释电焦平面 (UFPA)探测器制作中的重要地位 ,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究。对铟柱成形的几种方法进行了比较 ,确定了剥离法制备铟柱。并进行了光刻实验与分析 ,得到了满足 1 2 8...
关键词：光刻 铟柱制备 剥离法 UFPA 探测器 
128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究被引量：8
《红外技术》2003年第6期54-58,共5页黄江平 杨春丽 黎力 杨登全 张丽华 李玉英 
着重介绍了我们在“1 2 8×1 2 8混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求 ,计算出了蒸发源距工件的距...
关键词：热释电 焦平面 非制冷探测器 铟膜 铟柱 UFPA 倒装互连 
非制冷红外焦平面技术述评(下)被引量：7
《红外技术》1999年第2期1-3,共3页吴诚 苏君红 潘顺臣 冯生荣 金伟其 高稚允 
近年来，红外非制冷焦平面阵列技术已取得令人瞩目的进展，凭借其低成本、可接受的性能，正在开拓民用乃至军用市场。本文描述了目前主要的两种非制冷焦平面阵列技术的发展状况，并对二者以及它们与制冷型焦平面阵列进行比较与探讨。
关键词：非制冷 热成像 红外焦平面技术 UFPA 
非制冷红外焦平面技术述评(上)被引量：26
《红外技术》1999年第1期6-9,共4页吴诚 苏君红 潘顺臣 冯生荣 金伟其 高稚允 
近年来，红外非制冷焦平面阵列技术已取得令人瞩目的进展，凭借其低成本、可接受的性能，正在开拓民用乃至军用市场。本文描述了目前主要的两种非制冷焦平面阵列技术的发展状况，并对二者以及它们与制冷型焦平面阵列进行比较与探讨。
关键词：非制冷 热成像 红外焦平面技术 UFPA 
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