李玉英

作品数:5被引量:19H指数:3
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紫外探测器用CdS晶片制备工艺研究被引量:2
《红外技术》2014年第6期446-450,456,共6页黄江平 何雯瑾 袁俊 王羽 李玉英 杨登全 
介绍了叠层紫外/红外双色探测器结构特点、工作原理及选择CdS晶体材料制作紫外探测器光敏元的理论依据。阐述了CdS晶片制备及表面抛光质量的重要性和必要性。针对磨抛工艺对CdS紫外探测器性能的影响进行了研究。对比了几种抛光液对晶片...
关键词:紫外探测器 CdS晶片 抛光 红外透过率 表面粗糙度 
热释电红外探测器PZT晶片粘接质量控制被引量:3
《红外技术》2013年第12期764-767,共4页黄江平 冯江敏 王羽 苏玉辉 信思树 李玉英 
热释电红外探测器芯片研制中,晶片粘接是芯片研制中的关键工艺之一。本文详细论述了粘接胶的选择依据及晶片粘接质量控制。确定了适合器件研制的粘接胶和粘胶工艺流程。对粘接中出现的问题及解决办法进行了讨论。研制出了完全能满足器...
关键词:热释电红外探测器 粘接胶 晶片粘接 质量控制 
热释电非制冷红外焦平面探测器热绝缘结构被引量:4
《红外与激光工程》2011年第8期1407-1411,共5页何雯瑾 太云见 李玉英 袁俊 史衍丽 
国家自然科学基金重点基金(u1037602)
热释电非制冷红外探测器由于具有可靠性高、成本低、无需制冷等优点,使其得到了广泛应用。在热释电探测器中,热绝缘结构具有红外热转换、机械支撑和热隔离等作用。良好的热绝缘结构是减小探测器热导率和改善其性能的关键。采用半导体光...
关键词:热绝缘结构 非制冷 探测器 热释电 
光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究被引量:3
《红外技术》2004年第1期67-70,共4页杨春丽 黄江平 黎力 杨登全 张丽华 李玉英 
简要介绍了光刻在 1 2 8× 1 2 8混合式非制冷热释电焦平面 (UFPA)探测器制作中的重要地位 ,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究。对铟柱成形的几种方法进行了比较 ,确定了剥离法制备铟柱。并进行了光刻实验与分析 ,得到了满足 1 2 8...
关键词:光刻 铟柱制备 剥离法 UFPA 探测器 
128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究被引量:8
《红外技术》2003年第6期54-58,共5页黄江平 杨春丽 黎力 杨登全 张丽华 李玉英 
着重介绍了我们在“1 2 8×1 2 8混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求 ,计算出了蒸发源距工件的距...
关键词:热释电 焦平面 非制冷探测器 铟膜 铟柱 UFPA 倒装互连 
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