VCSEL

作品数：399被引量：516H指数：10
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GaAs基VCSEL干法刻蚀技术研究综述被引量：1
《红外》2023年第2期24-34,共11页范昊轩 张文博 李沐泽 郝永芹 
国家自然科学基金项目(11474038);吉林省科技发展计划项目(20200401073GX)。
GaAs基垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL)自1977年问世以来,凭借阈值电流较低、光束质量很高、可集成到二维阵列、易单模激射等优势被广泛应用于各个领域,但是其尺寸过小而在制造中难以精确控制精度、...
关键词：GAAS 垂直腔面发射激光器 干法刻蚀 选择性刻蚀 刻蚀损伤 
应用于VCSEL的GaAs/AlO_(x)高折射率对比度亚波长光栅反射镜的设计和制备被引量：1
《光学学报》2023年第1期9-14,共6页罗妍 郝永芹 邹永刚 
国家自然科学基金(11474038);吉林省科技发展计划(20200401073GX)。
基于严格耦合波理论,分析GaAs/AlO_(x)高折射率对比度亚波长光栅(HCG)反射镜的偏振和反射特性,设计了横电(TE)偏振的HCG。当入射光由衬底垂直入射时,HCG在940 nm附近的最高反射率接近1。分析了光栅形貌误差和入射角偏差对其反射特性的...
关键词：光栅 高折射率对比度亚波长光栅 衍射效率 偏振 单模 垂直腔面发射激光器 
用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究被引量：1
《红外》2022年第12期30-36,共7页郭帅 晏长岭 方铉 郝永芹 
国家自然科学基金项目(11474038);吉林省科技发展计划项目(20200401073GX)。
利用严格耦合波理论和时域有限差分方法设计了一种应用于940 nm垂直腔面发射激光器的Si基零折射率对比度光栅反射镜。对零对比度亚波长光栅(Zero-index-Contrast subwavelength Grating,ZCG)的高反射特性进行了研究,分析了ZCG实现宽带...
关键词：垂直腔面发射激光器 零折射率对比度光栅 严格耦合波理论 时域有限差分 
940 nm VCSEL高折射率对比度亚波长光栅反射镜的设计被引量：3
《红外与毫米波学报》2021年第6期834-839,共6页罗妍 郝永芹 晏长岭 
国家自然科学基金(11474038);吉林省科技发展计划项目(20200401073GX)。
研究了一种940 nm GaAs基VCSEL的高折射率对比度亚波长光栅反射镜(HCG),采用GaAs/AlOx光栅结构,讨论了TE偏振时光栅结构中各参数对反射光谱的作用规律,分析TE、TM不同偏振时反射镜的结构特点,及形貌误差对高反射带的影响。设计的TE-HCG...
关键词：高折射率对比度 亚波长光栅 垂直腔面发射激光器 严格耦合波理论 
宽范围、偏振稳定的850nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器特性被引量：4
《发光学报》2020年第10期1287-1293,共7页王小龙 邹永刚 郝永芹 马晓辉 刘国军 
吉林省科技发展计划(20180519018JH,20190302052GX);吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20190543KJ);国家自然科学基金(11474038);装备预研基金重点项目(61404140103)资助
设计了一种具有内腔耦合层的850 nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)结构,从而获得了更宽的波长调谐范围以及稳定的偏振模式输出。通过分析在不同液晶层厚度下,两种偏振模式的共振波长以及对应的阈值增益的变化关系,研究了液晶厚度...
关键词：偏振稳定 液晶 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 波长调谐 
基于VCSEL的湿法氧化工艺的温度依赖性研究被引量：4
《中国激光》2020年第7期275-280,共6页陈磊 罗妍 冯源 晏长岭 范杰 高欣 邹永刚 郝永芹 
国家自然科学基金(11474038);吉林省科技发展计划(20200401073GX)。
湿法氧化工艺是垂直腔面发射激光器(VCSEL)制备过程中极为关键的技术,但目前氧化工艺的稳定性和可控性仍有待完善。针对氧化过程中的核心因素——氧化温度进行深入研究,通过设置对照实验,探究了氧化温度对氧化速率及氧化孔形状的作用规...
关键词：激光器 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 湿法氧化 氧化温度 氧化孔 
液晶可调谐VCSEL中高对比光栅结构的设计被引量：4
《激光与光电子学进展》2020年第1期122-128,共7页郑舟 邹永刚 石琳琳 房俊宇 王海珠 范杰 崔超 徐莉 马晓辉 
吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20190543KJ);吉林省科技发展计划项目(20180519018JH,20190302052GX);长春理工大学校青年基金(XQNJJ-2018-19)。
基于严格耦合波理论设计了一种以液晶为低折射率材料的Si-SiO2复合高对比光栅,该光栅适合用于实现液晶可调谐功能的垂直腔面发射半导体激光器件。当940nm的TM偏振光入射时,通过优化参数可得到宽带(Δλ=256nm)高反射率(R>99%)且具有偏...
关键词：激光器 可调谐垂直腔面发射半导体激光器 高对比光栅 液晶 高反射率 耦合波理论 
980nm内腔接触式VCSEL的模拟和分析被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2013年第5期71-73,共3页刘学东 刘羽 陈露 龙宇翔 
吉林省科技发展计划项目(20080331-2)
为了提高VCSEL的光电性能,设计了一种内腔接触式VCSEL结构器件。本文采用Crosslight PICS3D分析软件,分别对相同外延生长情况下的980nm VCSEL传统结构和内腔接触式结构的光电性能进行模拟。经模拟得到,传统结构器件的阈值电流为8.76mA,...
关键词：垂直腔面发射激光器 内腔接触式 阈值电流 输出功率 
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