X射线谱仪

作品数：39被引量：45H指数：4
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高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪
《电子显微学报》2005年第5期540-540,共1页谭立和 
关键词：X射线谱仪 自动聚焦 波谱仪 平行光 高精度 扫描电子显微镜 扫描电镜 波长色散 微观分析 
X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
《电子显微学报》1994年第6期510-510,共1页唐圣明 徐梅娣 陈思琴 林绥娟 
Ｘ射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用唐圣明，徐梅娣，陈思琴，林绥娟（中国科学院上海冶金研究所，上海２０００５０）铝钛酸铅［Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ＿３，简称ＰＺＴ］是一种新型的铁电薄膜材料，具有独特的电学，光学性能，有很广...
关键词：X射线谱仪 能谱 薄膜器件 刻蚀 铁电材料 
X射线能谱Si(Li)探测器污染问题的研讨
《电子显微学报》1993年第2期202-202,共1页万德锐 
通常X射线能谱Si(Li)探测器经使用后,不可避免地会受到污染,污染可分为两类:探测器外部——Be窗口污染;探测器内部——Si(Li)晶体和场效应管的污染。前者主要是探测器在有油真空中使用,探测器的低温使油蒸气不断凝结在Be窗口上,形成一...
关键词：X射线谱仪 探测器 污染 窗口 晶体结构 
X射线能谱分析的新进展被引量：1
《电子显微学报》1993年第2期194-194,共1页章一呜 
伴随着计算机技术的迅速发展,在近15年中X射线能谱仪及其分析方法突飞猛进。从1984年开始第三代的能谱仪问世,虽然它不仅可从事微区元素分析,而且可以进行图像处理和图象分析,成为发展最快使用最广的微区分析仪器。但是在超轻元素的分...
关键词：X射线谱仪 能谱 晶体分析 
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