AZO

作品数：485被引量：794H指数：12
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溅射功率对掺铝氧化锌薄膜晶体管性能的影响被引量：2
《吉林建筑大学学报》2022年第6期78-81,共4页李慧 杨小天 王艳杰 王超 杨帆 聂晓渊 
吉林省科技发展计划项目(20200201177JC);吉林省科技计划项目(20210203021SF,2022-KL-09);吉林省教育厅科学技术研究项目(JJKH20210277KJ,JJKH20210276KJ);吉林建筑大学教育教学研究(XJY202113)
本文采用射频磁控溅射法在P型Si衬底上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并用原子束蒸镀技术制备成薄膜晶体管器件,使用扫描电镜、原子力显微镜、紫外可见分光光度计等手段对薄膜进行表征,研究铝的不同溅射功率对AZO薄膜晶体管电学和光学性能的...
关键词：薄膜晶体管(TFT) 铝锌氧(AZO) 磁控溅射 溅射功率 
有源层厚度对柔性AZO-TFT电学性能的影响被引量：1
《日用电器》2022年第8期92-96,116,共6页李超 王超 杨帆 王艳杰 
吉林省科技计划项目(2022-KL-09);吉林省科技发展计划项目(20200201177JC);吉林省科技厅中央引导地方科研项目(202002012JC);吉林省科技厅(YDZJ202201ZYTS430);吉林省教育厅科学技术研究项目(JJKH20210256KJ,JJKH20210277KJ,JJKH20210276KJ)。
在室温下,采用射频磁控溅射法在聚酰亚胺(Polyimide PI)衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为薄膜晶体管(TFT)的有源层,AZO薄膜厚度分别为53 nm,62 nm,79 nm,94 nm。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)测试分析了不同厚度AZO薄...
关键词：柔性 厚度 铝掺杂氧化锌(AZO) 薄膜晶体管 
低温下蛋白质基底薄膜晶体管的制备
《吉林建筑大学学报》2022年第4期78-83,共6页张含悦 王超 杨帆 王艳杰 刘芙男 
吉林省科技发展计划项目(20210203021SF,20200201177JC);吉林省教育厅科学技术研究项目(JJKH20210256KJ,JJKH20210277KJ,JJKH20210276KJ).
本文采用射频磁控溅射技术沉积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜作为有源层,成功制备以玉米蛋白膜为基底的AZO薄膜晶体管(AZO-TFT),并对该器件的电学特性进行了表征.系统论述了磁控溅射过程中不同的氧分压对AZO薄膜表面及其TFT器件电学性能的影响...
关键词：玉米蛋白膜 可降解薄膜晶体管 铝掺杂氧化锌(AZO) 氩氧比 
铝掺杂量对于铝锌氧薄膜晶体管的电学性能的影响被引量：1
《吉林建筑大学学报》2021年第2期83-88,共6页王冶 王超 杨帆 
中央引导地方科技发展研究项目(202002012JC);吉林省科技发展计划项目(20200201177JC).
本文利用磁控溅射法在硅片上制备了不同铝掺杂量的铝锌氧薄膜晶体管,并研究了铝掺杂量对铝锌氧薄膜晶体管电学性能的影响,可以看出不同铝掺杂量对于薄膜晶体管电学性能存在影响,当Al掺杂功率为15 W时,薄膜晶体管开关比达到5.7×10^(5),...
关键词：薄膜晶体管(TFT) 铝掺杂量 铝锌氧(AZO) 电学性能 
基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究被引量：1
《中国激光》2018年第5期121-125,共5页陈子男 王登魁 魏志鹏 方铉 房丹 王新伟 王晓华 
国家自然科学基金(61574022;61504012;61674021;61704011);吉林省科技发展计划(20160519007JH;20160101255JC;20160204074GX;20170520117JH)
在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试,研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响。随着Al组分浓度的逐渐增大,AZO薄膜吸收...
关键词：薄膜 表面等离子体 掺铝氧化锌 光学带隙 光学损耗 电学损耗 
基于AZO的高效率磷光有机电致发光被引量：3
《发光学报》2011年第3期290-292,共3页林杰 范翊 刘星元 
吉林省科技发展重点项目(20090346)资助
采用离子辅助的电子束双源共蒸技术制备了AZO薄膜,其载流子浓度和迁移率分别为4.39×1020 cm-3和15 cm2.V-1.s-1,在可见光范围内的平均透过率达到85.5%,功函数为5.05 eV。采用AZO作为阳极制备的磷光OLED得到最大亮度为192 400 cd/m2,最...
关键词：透明导电薄膜 AZO 磷光 有机电致发光 
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