掩膜版

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硅多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版的计算机辅助设计
《仪器仪表学报》1996年第S1期54-56,64,共4页费龙 徐涛 温志渝 高扬 
国家自然科学基金
研究了硅的多次掩膜各向异性腐蚀过程，提出了多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版计算机辅助设计的方法。
关键词：各向异性腐蚀 掩膜版 计算机辅助设计 腐蚀深度 各向异性腐蚀技术 几何形状 微结构 腐蚀过程 几何形体 硅各向异性腐蚀 
新型差动式集成硅微声传感器
《仪器仪表学报》1996年第S1期295-298,共4页徐涛 钟先信 温志渝 费龙 
国家自然科学基金
本文提出了一种新颖的可获取差动检测信号的集成化硅微光纤传感器结构。该结构使困难的硅微光纤传感器的装调及封装过程大为简化，能有效的抑制检测过程中的多种干扰。本文详述了该传感器制造过程，并进行了传感器的特性实验。实验表明...
关键词：悬臂梁 声传感 光纤传感器 光纤端面 差动式 掩膜版 硅微结构 频谱分析 位置关系 硅微传感器 
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