玻璃钝化

作品数：36被引量：16H指数：3
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激光划片机的晶圆自动对准方法研究被引量：2
《电子工业专用设备》2018年第3期24-27,63,共5页张乾 张永昌 邓胜强 谭立杰 
针对激光划片机的自动化生产需求,通过图像识别与模板匹配策略,在底部对准的激光划片机上实现GPP晶圆的自动旋转对位,并通过建立网格节点的方式计算划片轨迹,实现晶圆正面图形的自动识别与划片。
关键词：激光划片机 图像识别 底部对准 玻璃钝化(GPP)晶圆 
GPP器件关键工艺设备制造技术研究被引量：1
《电子工业专用设备》2015年第11期8-10,共3页曹秀芳 
简要介绍了GPP二极管工艺制造流程,着重阐述了P-N结钝化玻璃保护覆层制作工艺中V型沟槽的湿法刻蚀工艺,通过溶液温度、溶液流场及晶圆旋转运动控制技术,实现沟槽湿法刻蚀深度、宽度等均匀性,从而保证玻璃覆层的厚度及附着性,提高GPP二...
关键词：晶圆 玻璃钝化二极管 湿法刻蚀 
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