铂扩散

作品数：6被引量：8H指数：2
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铂扩散快恢复二极管特性的研究
《半导体技术》2006年第12期930-934,共5页孙树梅 曾祥斌 袁德成 蒋陆金 肖敏 冯亚宁 
描述了用直拉单晶(CZ)硅片采取铂液态源扩散的方法控制少子寿命,以达到减小快恢复二极管的反向恢复时间的目的。通过一系列的实验对铂扩散二极管的特性进行研究,分析了铂扩散二极管的反向恢复时间TRR、正向压降VF以及漏电流IR等参数之...
关键词：铂扩散 反向恢复时间 正向压降 漏电流 
玻璃钝化硅快恢复整流二极管被引量：3
《半导体技术》1995年第1期53-57,共5页罗文江 
本文对２ＣＮ６型玻璃钝化硅快恢复整流二极管的结构设计和制造工艺进行了深入分析，确定了合理的结构参数和先进的工艺流程，选用合适电阻率和厚度的Ｎ型硅单晶片，采用磷、硼深扩散，精确控制基区宽度形成Ｐ￣＋ＮＮ￣＋结构；铂扩散...
关键词：P^+NN^+结构 铂扩散 铝硅 欧姆接触 玻璃钝化 
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