测辐射热计

作品数:210被引量:333H指数:8
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基于CMOS工艺钨微测辐射热计阵列集成芯片的设计与制作被引量:2
《传感技术学报》2014年第6期725-729,共5页申宁 余隽 唐祯安 
国家自然科学基金项目(61131004;61274076)
采用0.5μm标准CMOS工艺和微机械加工工艺,设计并制作了低成本4×4钨微测辐射热计阵列集成芯片。阵列中每个钨微测辐射热计均由微悬桥结构和钨热敏电阻组成,CMOS读出电路集成在阵列下方。微悬桥结构由表面牺牲层技术实现,不需要任何的...
关键词:CMOS红外探测器 钨微测辐射热计 表面牺牲层技术 低成本红外探测器 红外焦平面阵列 
非晶硅微测辐射热计热学和力学仿真研究被引量:5
《传感技术学报》2009年第8期1122-1126,共5页龚宇光 李伟 蔡海洪 李志 陈超 蒋亚东 
国家自然科学基金重点项目资助(60736005)
通过理论计算及有限元方法仿真研究微测辐射热计的热学和力学性能,得出了微桥桥腿尺寸与微桥的热导、热时间常数、桥面温升以及由微桥自身重力引起的位移形变的关系;提出了为了兼顾较好的热学和力学性能,需要选取合适的微桥桥腿尺寸的...
关键词:非晶硅 微测辐射热计 有限元分析 热学性能 力学性能 
非晶硅微测辐射热计热学和光学分析被引量:2
《传感技术学报》2006年第05A期1721-1724,共4页李世彬 吴志明 蒋亚东 李伟 廖乃镘 
通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系,辐射功率和桥面温升之间的线性关系,并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证.根据光学导纳矩阵法,利用Mat Lab软件模拟微测辐射热计对红外线的吸收率,结果表明微...
关键词:微测辐射热计 非晶硅 微桥 有限元 
具有聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器
《传感技术学报》2006年第05A期1725-1727,1730,共4页刘兴明 韩琳 刘理天 
提出了一种基于聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器结构.该结构具有工艺简单、成本低廉、成品率高等优点.利用底部反射金属层可以提高红外吸收率;底层金属和有源层间的隔离层不仅可以减小器件热导,还可以和上层材料层构成三明治红外...
关键词:聚酰亚胺 测辐射热计 绝热结构 
微测辐射热计微桥结构性能分析被引量:5
《传感技术学报》2006年第05A期1728-1730,共3页李素 吴志明 蒋亚东 杨晓瑜 李世彬 
微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计.重点研究了现在流行的几种微桥结构,对其性能参数进行分析比较,提出了多层结构的优点.并使用有限元分析软件对不同微桥进行结构分析,以比较其稳固性.
关键词:微测辐射热计 微桥结构 热参数 有限元 
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