超精密加工

作品数：880被引量：2628H指数：22
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面向材料的超精密金刚石切削加工机理被引量：4
《中国科学：技术科学》2022年第6期854-870,共17页张俊杰 张建国 闫永达 孙涛 
国家自然科学基金(批准号:51405106,51761135106);国防基础科研核科学挑战专题(编号:TZ2018006-0201-02,TZ2018006-0205-02)资助项目。
采用超精密单点金刚石切削加工技术制备超光滑表面在国防尖端和航空航天等领域具有重要应用.当前缺乏对超精密加工机理的理解,极大地制约着超精密加工技术的提高.金刚石切削加工是一个刀具与材料高度耦合的过程,工件材料的性能对加工结...
关键词：超精密加工 金刚石切削 加工机理 超光滑表面 脆塑转变 
大口径KDP晶体光学元件超精密飞切加工工艺与装备被引量：5
《金属加工（冷加工）》2021年第11期1-5,共5页张飞虎 张强 
阐述KDP晶体材料的特点及应用,对大口径KDP晶体光学元件超精密飞切加工工艺进行研究,研制超精密飞切加工设备,满足了高能激光系统对大口径KDP晶体元件的加工要求。
关键词：KDP晶体材料 超精密加工 切削 工艺 设备 
X射线聚焦镜的超精密制造被引量：4
《光学精密工程》2021年第8期1839-1846,共8页王波 杨彦佶 王殿龙 王浪平 李铎 乔政 丁飞 薛家岱 廖秋岩 
中国科学院战略性先导科技专项(No.XDA15020501-03)。
X射线聚焦镜用于收集和汇聚宇宙中X射线辐射,是X射线天文卫星观测载荷的核心部件。本文采用镍基底电铸复制方法,在包括化学镀镍磷合金、模具超精密加工、模具镀膜、电铸镍基体以及脱模的全工艺链上进行了大量工艺探索和装备研发,并最终...
关键词：X射线光学 Wolter聚焦望远镜 掠入射 电铸复制 超精密加工 
隐形眼镜模具超精密加工与测量的集成方法研究被引量：2
《制造技术与机床》2021年第3期17-20,26,共5页赵亮 程凯 丁辉 顾彦 
国防基础科研挑战专题(TZ2018006)。
根据隐形眼镜模具的超精密加工原理和高精度要求,对影响模具加工质量和效率的主要因素进行了综合分析,分析和加工试验证明水平方向的对刀误差是其中最关键的因素。以Nanotech 250 UPL机床为加工设备,结合Zygo轮廓仪的精密检测原理,对水...
关键词：隐形眼镜模具 超精密加工 对刀误差 精密检测 超精密生产效率 
超精密机床液体静压导轨静动态特性研究被引量：5
《组合机床与自动化加工技术》2020年第10期1-4,8,共5页朴银川 张宣 张飞虎 
国家科技重大专项资助项目(2017ZX04022001-204);国家重点研发计划资助项目(2016YFB1102204)。
高精度高刚度导轨是实现脆性材料高效高表面完整性加工的前提条件。以超精密机床的液体静压导轨为研究对象,设计了液体静压导轨结构,建立了导轨的三维模型与数学模型,并通过数值仿真,预测出不同参数条件下液体静压导轨的静态特性与动态...
关键词：超精密加工 机床 液体静压导轨 静动态特性 
辊筒模具微透镜阵列的慢刀伺服成形加工被引量：2
《光学精密工程》2019年第1期146-155,共10页乔政 吴言功 刘玉涛 王波 张鹏 
粤港关键领域重点突破项目资助(No.2004A10403021);广东省攻关项目资助(No.2006A10401006)
为实现辊筒模具大面积微透镜阵列的高效率与高精度加工,对微透镜阵列成形法的加工轨迹优化和进给轴伺服参数的优化方法进行了理论分析与实验研究。首先,通过分析微透镜阵列的特征轮廓,确定微透镜表面振纹的主要诱因为过渡台阶的突变;其...
关键词：微透镜 轨迹优化 慢刀伺服 辊筒模具 超精密加工 
液体静压丝杠驱动的超精密运动系统设计与实验研究
《航空精密制造技术》2018年第5期14-18,共5页刘远航 王波 乔政 吴言功 刘长江 
本文设计了液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统,完成了机械结构、控制系统装配与搭建;通过实验表明液体静压丝杠驱动的运动系统能够达到10nm运动分辨率(反馈分辨率5nm),具有良好的刚度特性、稳态特性以及动态跟踪特性,适合作为超精...
关键词：超精密加工 液体静压丝杠 液体静压导轨 运动分辨率 
辊筒模具超精密机床系统设计与工艺被引量：3
《光学精密工程》2018年第7期1661-1671,共11页乔政 刘玉涛 吴言功 王波 张鹏 
国家科技重大专项(No.2011ZX04004-021);国家自然科学基金资助项目(No.51605119)
为了提高国内大尺寸光学微结构薄膜的光学级模具制造水平,打破国外在辊筒模具超精密加工装备的垄断,完成了国内首台套大尺寸光学微结构辊筒模具超精密机床的设计、集成以及典型微结构工艺的研究工作。首先,根据辊筒模具表面微结构加工...
关键词：超精密加工机床 金刚石切削 辊对辊 辊筒模具 微结构 
光学自由曲面机床检测系统静态几何误差快速辨识方法研究被引量：3
《航空精密制造技术》2018年第3期11-15,共5页田欣 丁辉 程凯 
国家自然科学基金项目(51675135)
本文以光学自由曲面加工机床为研究载体,实现了机床检测系统的静态几何误差的快速辨识。通过多体运动学理论建立了机床几何误差模型,从而提取出影响检测系统精度的13项静态几何误差。并在此基础上,类比球杆仪工作原理,设计了针对该系统...
关键词：光学自由曲面 超精密加工机床 误差模型 特征样件 误差辨识 
辊筒模具超精密加工机床几何误差建模及其补偿策略研究
《航空精密制造技术》2017年第5期12-18,共7页周中奇 王波 何文强 乔政 刘艺 
本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进...
关键词：辊筒模具 超精密加工 几何误差模型 误差补偿 
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