等离子体刻蚀

作品数：172被引量：335H指数：8
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《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《物理学报》
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作品数：30104被引量：93908H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《电子科技文摘》
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作品数：10413被引量：38H指数：2
issn：1009-0851cn：11-4388/TN
主办单位：信息产业部电子科学技术情报研究所
发文主题：会议录 计算机工程 电视技术 电子技术应用 PROCEEDINGS
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术 经济管理
《真空科学与技术学报》
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作品数：4335被引量：9136H指数：22
曾用名：真空科学与技术
issn：1672-7126cn：11-5177/TB
主办单位：中国真空学会
发文主题：磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《红外与激光工程》
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作品数：11876被引量：41865H指数：46
曾用名：红外与激光技术
issn：1007-2276cn：12-1261/TN
主办单位：天津津航技术物理研究所
发文主题：红外 英文 激光雷达 激光 光学设计
发文领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 理学 航空宇航科学技术
《集成电路应用》
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作品数：16962被引量：14179H指数：18
issn：1674-2583cn：31-1325/TN
主办单位：上海贝岭股份有限公司
发文主题：集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9341被引量：11403H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
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