郭哲

作品数：4被引量：6H指数：1
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供职机构：河北大学更多>>
发文主题：BST薄膜PT脉冲激光沉积BA磁控更多>>
发文领域：电气工程理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》《物理学报》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省应用基础研究计划国家教育部博士点基金更多>>
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含铜铁电电容器SrRuO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/SrRuO_3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO_2/Si异质结的研究被引量：1
《物理学报》2011年第11期650-658,共9页陈剑辉 刘保亭 赵庆勋 崔永亮 赵冬月 郭哲 
国家自然科学基金(批准号:60876055;11074063);河北省自然科学基金(批准号:E2008000620;E2009000207);河北省应用基础研究计划重点基础研究(批准号:10963525D);高等学校博士点基金(批准号:20091301110002)资助的课题~~
应用磁控溅射法以Ni-Al同时作为Cu与SiO2/Si,Cu与SRO薄膜之间的阻挡层材料,将Cu与SiO2/Si衬底和氧化物薄膜电极隔离,避免它们在高温氧气氛中发生化学反应和互扩散,实现了Cu薄膜与氧化物铁电电容器的集成.采用X射线衍射仪(XRD)和原子力...
关键词：Cu PZT 铁电电容器 NI-AL 
非晶Ti-Al过渡层对Pt/Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/Pt电容器结构和性能的影响被引量：4
《人工晶体学报》2011年第1期161-165,共5页赵冬月 刘保亭 郭哲 李曼 陈剑辉 代鹏超 韦梦祎 
国家自然科学基金(60876055;11074063);河北省自然科学基金(E2008000620);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
应用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)衬底上制备5 nm厚超薄非晶Ti-Al薄膜作为过渡层,利用脉冲激光沉积法制备Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜,构造了Pt/Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt(Pt/BST/Pt)和Pt/Ti-Al/Ba0.6Sr0.4TiO3/Ti-Al/Pt(Pt/Ti-Al/BST/Ti-Al/Pt)结...
关键词：BST薄膜 非晶Ti-Al薄膜 过渡层 脉冲激光沉积 
(001)高度择优取向Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/Pt异质结的结构及性能被引量：1
《人工晶体学报》2010年第6期1475-1478,1498,共5页郭哲 刘保亭 王军 李曼 张金平 娄建忠 
国家自然科学基金(No.60876055;11074063)资助项目;河北省自然科学基金(E2008000620)资助项目;河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D);高等学校博士点基金(No.20091301110002);河北省教育厅科学研究计划(No.2007416);河北省科学技术厅科学技术研究与发展指导计划(No.07215154);河北大学博士基金(y2006091)资助项目
采用射频磁控溅射法结合高真空后退火处理,在MgO（001）单晶基片上制备了Pt薄膜。应用脉冲激光沉积法在Pt/MgO上进一步生长了Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜。借助X射线衍射仪（XRD）、铁电测试仪、LCR表研究了BST/Pt/MgO的结构和性能。研...
关键词：BST薄膜 脉冲激光沉积 导电机制 
快速退火对Pt/BST/Pt电容器结构和性能的影响被引量：1
《电子元件与材料》2009年第12期39-42,共4页王玉强 刘保亭 孙杰 郭哲 范志东 彭英才 
国家自然科学基金资助项目(No.60876055);河北省自然科学基金资助项目(No.E2008000620;E2009000207);教育部科学技术研究重点资助项目(No.207013);河北省应用基础研究计划重点基础研究资助项目(No.08965124D)
采用脉冲激光沉积(PLD)法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,对Pt/BST/Pt电容器在空气中进行400℃快速退火(RTA)处理,研究了快速退火对Pt/BST/Pt电容器的结构和性能的影响。结果表明:快速退火虽然对BST薄膜的结...
关键词：BST薄膜 快速退火 Pt/BST界面层 氧空位 脉冲激光沉积 
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