王玉强

作品数：5被引量：5H指数：2
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供职机构：河北大学电子信息工程学院更多>>
发文主题：BSTZR快速退火脉冲激光沉积O更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《电子元件与材料》《人工晶体学报》《河北大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金河北省应用基础研究计划教育部科学技术研究重点项目更多>>
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快速退火对Ni-Al-O栅介质结构和介电性能的影响
《无机材料学报》2011年第3期257-260,共4页李曼 刘保亭 王玉强 王宽冒 
国家自然科学基金(60876055;11074063);河北省自然科学基金(E2008000620;E2009000207);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D)~~
采用反应脉冲激光沉积方法(PLD)分别在n-Si(100)和Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上生长了Ni-Al-O栅介质薄膜,将样品在不同温度下进行快速退火处理.通过XRD和AFM对其结构和表面形貌进行了表征,利用LCR表和Keithley表对其介电性能和漏电流进行...
关键词：高K栅介质 Ni-Al-O薄膜 反应脉冲激光沉积 
退火工艺对含Ti-Al阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3铁电电容器结构和性能影响的研究被引量：2
《人工晶体学报》2010年第1期62-66,71,共6页郭颖楠 刘保亭 赵敬伟 王宽冒 王玉强 孙杰 陈剑辉 
国家自然科学基金(No.60876055);河北省自然科学基金(E2008000620;E2009000207);教育部科学技术研究重点项目(No.207013);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(08965124D)
应用非晶的Ti-Al薄膜为导电阻挡层,采用射频磁控溅射法和溶胶-凝胶法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.4,Ti0.6)O3/La0.5Sr0.5CoO3/Ti-Al/Si(LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si)异质结,研究了550℃常规退火(CTA)和快速退火(RTA)工艺对LSCO/P...
关键词：退火工艺 PZT 磁控溅射法 溶胶-凝胶法 
沉积温度对磁控溅射生长SrRuO_3薄膜结构和性能的影响被引量：2
《人工晶体学报》2010年第1期135-138,148,共5页王宽冒 张沧生 李曼 周阳 王玉强 王侠 彭英才 刘保亭 
国家自然科学基金(No.60876055);河北省自然科学基金项目(E2008000620);教育部科学技术研究重点项目(No.207013);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(08965124D)
采用射频磁控溅射法在(001)SrTiO3基片上制备了SrRuO3薄膜,采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、四探针测试仪等分析方法系统研究了沉积温度对SrRuO3薄膜结构、表面形貌及输运性质的影响。实验结果表明:当生长温度低于550℃时,SrRuO...
关键词：SRRUO3 磁控溅射 外延薄膜 
快速退火对Pt/BST/Pt电容器结构和性能的影响被引量：1
《电子元件与材料》2009年第12期39-42,共4页王玉强 刘保亭 孙杰 郭哲 范志东 彭英才 
国家自然科学基金资助项目(No.60876055);河北省自然科学基金资助项目(No.E2008000620;E2009000207);教育部科学技术研究重点资助项目(No.207013);河北省应用基础研究计划重点基础研究资助项目(No.08965124D)
采用脉冲激光沉积(PLD)法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,对Pt/BST/Pt电容器在空气中进行400℃快速退火(RTA)处理,研究了快速退火对Pt/BST/Pt电容器的结构和性能的影响。结果表明:快速退火虽然对BST薄膜的结...
关键词：BST薄膜 快速退火 Pt/BST界面层 氧空位 脉冲激光沉积 
脉冲激光沉积法制备的Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3铁电薄膜漏电机理
《河北大学学报（自然科学版）》2009年第5期474-479,共6页陈剑辉 刘保亭 孙杰 霍骥川 赵敬伟 王玉强 赵庆勋 
国家自然科学基金资助项目(60876055);河北省自然科学基金资助项目(E2008000620;E2009000207);教育部科学技术研究重点项目(207013);河北省应用基础研究计划重点项目(08965124D)
利用准分子脉冲激光器在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)铁电薄膜.利用掩膜技术,采用磁控溅射法在PZT薄膜上生长Pt上电极,构架了Pt/PZT/Pt铁电电容器异质结.采用X射线衍射和电容耦合测试技术分别表征了PZT铁电薄...
关键词：Pb(Zr0.4Ti0.6)O3 漏电机理 铁电薄膜 脉冲激光沉积 
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