李丽

作品数：4被引量：28H指数：3
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：阻挡层BIFEO及物性漏电流铁电性能更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《功能材料》《人工晶体学报》《机械工程材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金教育部基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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SrRuO_3导电层对快速退火制备Pb(Zr,Ti)O_3薄膜结构和性能的影响被引量：6
《人工晶体学报》2010年第3期608-612,627,共6页王宽冒 刘保亭 倪志宏 赵敬伟 李丽 李曼 周阳 
国家自然科学基金(No.60876055);河北省自然科学基金项目(E2008000620);教育部科学技术研究重点项目(No.207013);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(08965124D)
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,制备了Pt/Pb(Zr,Ti)O3(PZT)/Pt和SrRuO3(SRO)/PZT/SrRuO3(SRO)异质结电容器,并研究了快速退火条件下SRO导电层对PZT结构和性能的影响。XRD测试表明,两种结构电容器中的PZT薄膜均为钙钛矿结构,SRO/...
关键词：钌酸锶 锆钛酸铅 快速退火 
磁控溅射法制备用作铜互连阻挡层的钛-铝薄膜被引量：1
《机械工程材料》2009年第5期83-86,共4页邢金柱 刘保亭 霍骥川 周阳 李晓红 李丽 张湘义 彭英才 王侠 
"973"前期研究专项资助项目(2007CB616910);国家自然科学基金资助项目(50572021;60876055);河北省科学基金资助项目(E2008000620);教育部基金资助项目(207013);河北大学青年基金资助项目(2005Q08)
采用射频磁控溅射法在Si（100）基片上首先沉积了厚度40nm的非晶钛-铝薄膜，然后在其上又原位生长了厚度100nm的铜薄膜，制备了铜膜／钛-铝膜／硅试样；对试样分别在400～800℃内进行真空退火处理，用原子力显微镜、X射线衍射仪、四探...
关键词：铜互连 阻挡层 钛-铝薄膜 射频磁控溅射 
用于Cu互连阻挡层的非晶Ni-Al薄膜研究被引量：3
《功能材料》2008年第12期2005-2007,共3页霍骥川 刘保亭 邢金柱 周阳 李晓红 李丽 张湘义 王凤青 王侠 彭英才 
国家重点基础研究发展计划(973计划)前期研究专项资助项目(2007CB616910);国家自然科学基金资助项目(50572021);河北省自然科学基金项目(E2008000620);教育部基金资助项目(2005-546;207013);河北大学青年基金资助项目(2005Q08)
以非晶Ni-Al薄膜作为Cu互连的阻挡层材料,采用射频磁控溅射法构架了Cu/Ni-Al/Si的异质结。利用原子力显微镜、X射线衍射仪和四探针测试仪研究了不同温度下高真空退火样品的表面形貌、微观结构与输运性质。实验发现非晶Ni-Al薄膜在高达75...
关键词：CU互连 Ni—Al 扩散阻挡层 
溶胶-凝胶法制备BiFeO_3薄膜的结构及物性研究被引量：20
《人工晶体学报》2008年第6期1430-1434,共5页李丽 刘保亭 张新 闫小兵 郭颖楠 
973前期研究专项(2007CB616910);国家自然科学基金(No.50572021;60876055);河北省自然科学基金重点项目(E2008000620);教育部基金项目(2005-546;207013)
应用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了BiFeO3薄膜,构架了Pt/BiFeO3/Pt电容器。采用X射线衍射仪和铁电测试仪研究了Pt/BiFeO3/Pt电容器的结构和物理性能。实验发现BiFeO3最佳的结晶温度为600℃,X射线衍射图谱显示BiFeO3薄膜...
关键词：铁酸铋薄膜 溶胶-凝胶法 铁电性能 漏电流 
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