邢金柱

作品数：4被引量：12H指数：2
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：铜互连磁控溅射二元合金微电子领域热力学稳定性更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《人工晶体学报》《机械工程材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金教育部基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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用于Cu互连的Ta/Ti-Al集成薄膜的结构和阻挡性能被引量：2
《功能材料》2012年第4期462-464,共3页任国强 邢金柱 李晓红 郭建新 代秀红 杨保柱 赵庆勋 
国家自然科学基金资助项目(60876055);河北省自然科学基金资助项目(E2009000207;E2011201092);河北省应用基础研究计划重点资助项目(10963525D);高等学校博士点基金资助项目(20091301110002)
应用射频磁控溅射法在(001)Si衬底上制备了Cu(120nm)/Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)/Si异质结,借助原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和四探针测试仪(FPP)等方法研究了Ta(5nm)/Ti-Al(5nm)集成薄膜用作Cu和Si之间阻挡层的结构和性能。研究发现,Cu/...
关键词：CU互连 阻挡层 Ta/Ti-Al 射频磁控溅射 
磁控溅射法制备用作铜互连阻挡层的钛-铝薄膜被引量：1
《机械工程材料》2009年第5期83-86,共4页邢金柱 刘保亭 霍骥川 周阳 李晓红 李丽 张湘义 彭英才 王侠 
"973"前期研究专项资助项目(2007CB616910);国家自然科学基金资助项目(50572021;60876055);河北省科学基金资助项目(E2008000620);教育部基金资助项目(207013);河北大学青年基金资助项目(2005Q08)
采用射频磁控溅射法在Si（100）基片上首先沉积了厚度40nm的非晶钛-铝薄膜，然后在其上又原位生长了厚度100nm的铜薄膜，制备了铜膜／钛-铝膜／硅试样；对试样分别在400～800℃内进行真空退火处理，用原子力显微镜、X射线衍射仪、四探...
关键词：铜互连 阻挡层 钛-铝薄膜 射频磁控溅射 
蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜被引量：7
《人工晶体学报》2009年第1期74-78,共5页周阳 仇满德 付跃举 邢金柱 霍骥川 彭英才 刘保亭 
973前期专项项目(No.2007CB616910);国家自然科学基金(No.50572021);河北省自然科学基金项目(No.E2008000620,No.A2005000090);教育部基金项目(No.2005-546,207013);河北大学青年基金(No.2005Q08)
在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外分光光度计系统研究了ZnO薄膜微观结构和光学特性。AFM测量结果表明ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒,表面平...
关键词：ZNO薄膜 射频磁控溅射 外延生长 
用于Cu互连阻挡层的非晶Ni-Al薄膜研究被引量：3
《功能材料》2008年第12期2005-2007,共3页霍骥川 刘保亭 邢金柱 周阳 李晓红 李丽 张湘义 王凤青 王侠 彭英才 
国家重点基础研究发展计划(973计划)前期研究专项资助项目(2007CB616910);国家自然科学基金资助项目(50572021);河北省自然科学基金项目(E2008000620);教育部基金资助项目(2005-546;207013);河北大学青年基金资助项目(2005Q08)
以非晶Ni-Al薄膜作为Cu互连的阻挡层材料,采用射频磁控溅射法构架了Cu/Ni-Al/Si的异质结。利用原子力显微镜、X射线衍射仪和四探针测试仪研究了不同温度下高真空退火样品的表面形貌、微观结构与输运性质。实验发现非晶Ni-Al薄膜在高达75...
关键词：CU互连 Ni—Al 扩散阻挡层 
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