程文进

作品数:6被引量:14H指数:2
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供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题:键合紫外固化中间层磁控溅射最大功率点跟踪更多>>
发文领域:电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《微处理机》《电子工业专用设备》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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高温MOCVD外延生长AlN材料研究被引量:1
《电子工业专用设备》2017年第4期43-49,共7页程文进 巩小亮 陈峰武 彭立波 魏唯 
采用自主研制的量产型高温MOCVD设备进行AlN的外延生长,重点研究高温生长对于Al N质量的提升,以及Al N生长速率的控制规律。结果表明:生长温度的提高对于Al N晶体质量的提升和表面粗糙度的减小有着重要影响,而Al N的生长速率受到温度、...
关键词:ALN 高温MOCVD 晶体质量 生长速率 
矩形磁控溅射靶电磁场分析及优化被引量:1
《电子工业专用设备》2017年第4期35-38,共4页佘鹏程 陈立宁 程文进 龚俊 陈长平 
对矩形溅射靶电磁场进行了仿真分析,优化设计,从而优化溅射靶表面电磁场分布,增大均匀沉膜区域范围,提高靶材利用率。
关键词:磁控溅射 溅射靶 电磁场 靶材利用率 
扫描式磁控溅射设备及工艺研究被引量:2
《电子工业专用设备》2017年第4期39-42,71,共5页范江华 胡凡 彭立波 程文进 佘鹏程 毛朝斌 
介绍了一种扫描式双腔连续生产型磁控溅射镀膜设备,通过研究不同溅射压强、溅射功率密度下金属薄膜的沉积速率以及沉膜均匀性,实验结果表明在溅射压强0.3 Pa、溅射功率密度9 W/cm^2的条件下沉积TiW薄膜的沉膜速率约41.5 nm/min,均匀性低...
关键词:磁控溅射 薄膜 工艺实验 扫描 沉积 
太阳能无人机能源控制器研究与设计被引量:5
《电子工业专用设备》2017年第3期45-50,共6页陆运章 郭进 程文进 周蒙 张建国 杨晓生 张佳亮 
对太阳能无人机能源控制器的设计进行了详细的阐述,对能源系统在地面情况下发电与带载运行情况进行了实验验证。该方案设计选用最大功率点跟踪(Maximum Power Point Tracking,MPPT)技术,实现了对太阳能无人机能源系统中光伏阵列、储能...
关键词:太阳能无人机 能源控制器 最大功率点跟踪 
气体传感器脉宽恒温控制电路设计被引量:2
《微处理机》2015年第1期76-78,83,共4页董克冰 曹勇全 张建国 程文进 景涛 杨成佳 
针对薄膜气体传感器敏感芯体的气体温度特性,设计了一种实用的脉宽恒温控制电路。采用经典PID控制模式,自适应调节加热功率,满足高温高湿的环境要求。样机器件全部采用有失效率指标的高等级质量国产元件,可靠性完全可估。样机对启动电...
关键词:经典 PID 控制 脉宽调制 温度控制 气体传感器 
硅/玻璃紫外固化中间层键合被引量:3
《Journal of Semiconductors》2008年第1期179-182,共4页程文进 汤自荣 廖广兰 史铁林 林晓辉 彭平 
国家重大基础研究发展规划(批准号:2003CB716207);国家自然科学基金(批准号:50405033)资助项目~~
利用玻璃的透光特性和紫外固化的成熟技术,研究了一种使用紫外固化胶作为中间层的玻璃/硅室温键合工艺.通过选择一定波段的紫外固化胶,旋涂紫外胶后使用365nm光刻机作为紫外光源控制紫外固化,从而实现了硅/玻璃的中间层键合.分析测试结...
关键词:室温键合 中间层 紫外固化 
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