范文宾

作品数：3被引量：10H指数：2
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：红移退火射频磁控溅射SIC薄膜奥氏体不锈钢更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《真空与低温》《红外》更多>>
所获基金：安徽省自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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退火对Al_2O_3薄膜结构和发光性能的影响被引量：4
《红外》2009年第11期26-29,共4页范文宾 李合琴 邵林飞 
国家自然科学基金(60806028);安徽省红外与低温等离子体重点实验室(2007C002107D);安徽省自然科学基金(090414182);973项目(2008CB717802)
氧化铝(Al_2O_3)薄膜具有许多优良的物理化学性能,在机械、光学及微电子等高科技领域有着广泛应用,一直受到人们的高度关注。但Al_2O_3具有多种物相形态,性质差别很大。因此研究不同结构对其发光性能的影响在Al_2O_3实际应用中有着重要...
关键词：AL2O3薄膜 光致发光光谱 射频磁控溅射 红移 色心 
VO_x薄膜的制备、电阻-温度特性及结构研究被引量：5
《红外》2009年第11期30-34,共5页邵林飞 李合琴 范文宾 宋泽润 
安徽省红外与低温等离子体重点实验室(2007C002107D);安徽省自然科学基金(090414182)
VO_2是一种热致相变材料。发生相变时,VO_2的电阻、红外光透过率、反射率都会发生显著变化。采用直流反应磁控溅射法,通过改变氧氩比(O_2:Ar)、工作气压、衬底温度等制备工艺参数,研究了工艺参数对VO_x薄膜的结构、电阻-温度性能的影响...
关键词：VO2薄膜 直流反应磁控溅射 沉积条件 电阻突变 
奥氏体不锈钢表面硬质薄膜的制备与性能研究被引量：1
《真空与低温》2009年第4期227-232,共6页范文宾 李合琴 邵林飞 
安徽省红外与低温等离子体重点实验室(2007C002107D);安徽省自然科学基金(090414182);973项目(2008CB717802);国家自然科学基金(60806028)资助
用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上分别制备了TiN薄膜和Al_2O_3薄膜,并用XRD、SEM和显微硬度等测试手段对沉积态和退火态薄膜进行表征,分析了不同工艺参数对薄膜的沉积速率、结构和性能的影响,从而得到最佳工艺参数。TiN薄膜在沉积气压...
关键词：奥氏体不锈钢 磁控溅射 氮化钛薄膜 氧化铝薄膜 显微硬度 
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