黄稳

作品数：3被引量：31H指数：3
导出分析报告
供职机构：西南交通大学更多>>
发文主题：AZO薄膜AZO数对电学性能磁控溅射法更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《材料导报》《功能材料》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金International Foundation for Science国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
射频溅射工艺参数对AZO薄膜结构和性能的影响被引量：5
《功能材料》2012年第12期1553-1555,1560,共4页黄稳 余洲 刘连 张勇 黄涛 闫勇 赵勇 
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(SWJTU09BR155;SWJTU09ZT24);国际自然科学基金资助项目(50588201;50872116);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA03Z203);高等学校博士点专项科研基金资助项目(SRFDP200806130023);长江学者与创新团队计划资助项目(IRT0751)
采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,研究了衬底温度及溅射工作压强对沉积薄膜的晶体结构、表面形貌及电学性能的影响。结果显示,随衬底温度增加,薄膜的结晶结构发生显著变化,而溅射工作气压增加主要影响沉积薄膜(103)面与(0...
关键词：AZO薄膜 晶体结构 电学性能 
直流溅射工艺参数对Mo薄膜结构及电性能的影响被引量：5
《功能材料》2012年第4期499-503,共5页黄涛 闫勇 黄稳 张艳霞 晏传鹏 刘连 张勇 赵勇 余洲 
国际自然科学基金资助项目(50588201,50872116);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007-AA03Z203);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2007CB616906);长江学者与创新团队计划资助项目(IRT0751);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(SWJTU09BR155,SWJTU09ZT24)
采用直流磁控溅射法在SLG衬底上沉积Mo薄膜,对不同溅射功率和溅射工作气压下沉积的薄膜进行X射线衍射、SEM(扫描电子显微镜)、电阻率测试,讨论了工艺参数对沉积Mo薄膜相结构、表面微观形貌、薄膜沉积速率和电学性能的影响。结果表明,随...
关键词：MO薄膜 直流磁控溅射 电阻率 
AZO薄膜制备工艺及其性能研究被引量：21
《材料导报》2012年第1期35-39,共5页黄稳 余洲 张勇 刘连 黄涛 闫勇 赵勇 
中央高校基本科研业务费专项资金(SWJTU09BR155);国际自然科学基金(50588201;50872116);国家高科技项目(863)(2007AA03Z203);高等学校博士点专项科研基金(SRFDP200806130023);长江学者与创新团队计划(IRT0751)
综述了掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备方法与光电特性,重点阐述了磁控溅射法制备工艺参数如衬底温度、溅射功率、气体压强、溅射时间、衬底和靶间距、负偏压等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,并指出目前AZO薄膜的研究关键以及所面临的挑战,展...
关键词：AZO 结构特性 光电特性 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部