段辉高

作品数：4被引量：2H指数：1
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发文主题：电子束曝光场发射纳米毛细力自组装更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《微细加工技术》《功能材料与器件学报》更多>>
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基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制被引量：1
《微细加工技术》2008年第5期35-36,40,共3页白英良 段辉高 韩立 
首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁,然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版,通过二次复制的图形转移技术,制作了聚合物微悬臂梁。测试表明,所制作的聚合物悬臂梁基本满足悬臂梁工作的要求...
关键词：微悬臂梁 微模塑 聚合物 PDMS 固化 
氮氧化铪薄膜在不同衬底上的场发射性能
《功能材料与器件学报》2008年第4期844-847,共4页王晓明 谢二庆 叶凡 段辉高 周明 
利用直流溅射法在Si、Zn、Ni三种不同衬底上沉积HfNxOy薄膜并测试了其场发射性能。扫描电子显微镜(SEM)显示HfNxOy薄膜表面由纳米颗粒组成,X射线衍射(XRD)说明薄膜中含有HfN和HfO2两种相。场发射测试结果显示,和金属衬底上的薄膜相比,S...
关键词：直流溅射 HfNxOy薄膜 场致电子发射 
稀土金属硅化物的场发射
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期202-204,共3页段辉高 谢二庆 叶凡 王晓明 
用金属蒸发真空弧离子注入方法制备了各种稀土金属的硅化物,定义1μA/cm2时的电场为开启电场,发现它们的开启电场在15～20V/μm之间.用电子束对其进行退火处理后,开启电场降到10V/μm以下,而场发射密度可以提高一个数量级.它们良好的场...
关键词：稀土金属硅化物 场发射 FN曲线 
HfOxNy的场发射特性被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期208-210,共3页段辉高 谢二庆 叶凡 蒋然 王晓明 
用直流溅射和高温退火相结合的方法制备了HfOxNy薄膜并测试了其场发射性能,发现其具有较低的开启电场、较大的发射电流密度以及很好的发射稳定性.高压"锻炼"对提高HfOxNy场发射性能起着关键作用,这与高压"锻炼"下薄膜内部结构和表面性...
关键词：HfOxNy 场发射 高压"锻炼" 
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