蔡兴民

作品数:15被引量:55H指数:5
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供职机构:深圳大学更多>>
发文主题:离子束溅射离子束溅射制备光电性能二氧化钒薄膜更多>>
发文领域:一般工业技术理学电子电信电气工程更多>>
发文期刊:《哈尔滨工业大学学报》《功能材料》《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金:深圳市科技计划项目广东省自然科学基金国家自然科学基金深圳市基础研究计划项目更多>>
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应用Ti掺杂提高VO_(2)薄膜太阳光红外能量调制能力
《安庆师范大学学报(自然科学版)》2022年第1期35-42,共8页曾蓝萱 李慧 戚家华 刘毅 叶凡 蔡兴民 范平 张东平 
国家自然科学基金(62175158)。
二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景。该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO_(2)薄膜不同量的Ti掺杂。并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子...
关键词:二氧化钒 Ti掺杂 相变 红外调制率 
智能节能窗用二氧化钒薄膜磁控溅射技术研究
《真空与低温》2020年第5期361-368,共8页张东平 何其聪 戚家华 刘毅 蔡兴民 叶凡 钟爱华 范平 
深圳市科技计划项目(JCYJ20180305124038881)。
二氧化钒是一种在68℃附近具有金属-绝缘体可逆相变的新颖材料,相变前后对红外光分别呈现出高透与高反的特性,是智能节能窗的理想材料。文章针对应用于智能节能窗二氧化钒薄膜磁控溅射中存在的主要问题,综述了近年来该领域发展的一些新...
关键词:二氧化钒薄膜 磁控溅射 相变温度 沉积温度 
氮流量对掺氮氧化亚铜薄膜性能的影响
《深圳大学学报(理工版)》2019年第5期525-530,共6页邱奕斌 陈倩倩 叶凡 蔡兴民 张东平 范平 
国家自然科学基金资助项目(61674107);深圳市科技计划资助项目(JCYJ20170302150335518);深圳市重点实验室资助项目(ZDSYS20170228105421966)~~
氧化亚铜在光伏及光催化等领域有潜在应用,掺氮能增加其空穴浓度从而提高电导率,但氮在氧化亚铜的状态仍未被深入研究.在溅射压强等参数不变的条件下,逐步增加氮气流量,制备了一系列纯相的氮掺杂的氧化亚铜,并用X射线衍射、台阶仪、扫...
关键词:凝聚态物理学 氧化亚铜 氮掺杂 磁控溅射 光电性能 薄膜性质 
AlGaN纳米线的化学气相沉积制备及表征
《深圳大学学报(理工版)》2015年第6期638-644,共7页蔡兴民 苏小强 叶凡 王欢 梁广兴 郑壮豪 罗景庭 张东平 范平 
国家自然科学基金资助项目(61204010);深圳市基础研究资助项目(CYJ20120613102126217)~~
以Ga、金属Al颗粒或AlCl3·6H2O粉末及NH3为原料,利用化学气相沉积法生长AlxGa1-xN纳米线.研究发现,气体的流速、基底有无催化剂、原材料及生长温度等都对其生长有影响.在总流量固定的前提下,较高的NH3流量比会在基底上生长出致密的AlxG...
关键词:无机非金属材料 低维材料 化合物半导体 纳米线 化学气相沉积 光致发光 
氧分压对磁控溅射VO_2薄膜相变性能的影响被引量:2
《深圳大学学报(理工版)》2015年第6期645-651,共7页张东平 朱茂东 杨凯 刘毅 黄仁桂 蔡兴民 范平 
国家自然科学基金资助项目(11174208);深圳市科技计划资助项目(JCYJ20130326113026749)~~
采用直流反应磁控溅射工艺在不同氧分压下制备VO2相变薄膜.分别用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四探针方阻测量系统和分光光度计对薄膜微结构、表面形貌、电学及光学特性进行表征.测量结果表明,薄膜样品是由包含VO2相在内的多相复杂体...
关键词:凝聚态物理 VO2薄膜 磁控溅射 氧分压 相变 微结构 光学透过率 
铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征被引量:4
《深圳大学学报(理工版)》2012年第2期118-122,共5页范平 池京容 梁广兴 郑壮豪 张东平 蔡兴民 李定梅 陈天宝 
广东省自然科学基金资助项目(7009409);深圳市基础研究计划重点项目资助项目(JC201005250053A)~~
采用热蒸发沉积Ga、离子束溅射沉积Cu、In和Se,在BK7玻璃上形成Ga/Gu/In/Se四元叠层,在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理,制备得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池吸收层材料CIGS薄膜.通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜、...
关键词:太阳电池 薄膜 离子束 热蒸发 晶体结构 光学性能 电学性能 
Bi-Sb-Te基热电薄膜温差电池离子束溅射制备与表征被引量:1
《物理学报》2011年第9期746-751,共6页范平 蔡兆坤 郑壮豪 张东平 蔡兴民 陈天宝 
深圳市南山区高等院校、科研机构研发项目(批准号:南科院2009035);深圳大学应用技术开发项目(批准号:201059)资助的课题~~
本文采用离子束溅射Bi/Te和Sb/Te二元复合靶,直接制备n型Bi2Te3热电薄膜和p型Sb2Te3热电薄膜.在退火时间同为1h的条件下,对所制备的Bi2Te3薄膜和Sb2Te3薄膜进行不同温度的退火处理,并对其热电性能进行表征.结果表明,在退火温度为150℃时...
关键词:薄膜温差电池 Sb2Te3薄膜 Bi2Te3薄膜 离子束溅射 
泡生法蓝宝石晶体生长工艺的探讨被引量:8
《哈尔滨工业大学学报》2011年第3期145-148,共4页刘丽君 徐家庆 蔡兴民 
为了研究工艺参数对泡生法蓝宝石晶体生长过程及其晶体质量的影响,在自行研制的泡生法蓝宝石晶体生长炉上进行了试验.调整籽晶热交换器水流量及进水温度,并在等径生长期间采用不同的维持功率下降速度,结果表明:热交换器冷却强度对引晶...
关键词:泡生法 蓝宝石单晶 水冷热交换器 维持功率 
离子束溅射制备Bi2Te3热电薄膜被引量:5
《深圳大学学报(理工版)》2011年第1期84-88,共5页范平 郑壮豪 梁广兴 张东平 蔡兴民 
广东省自然科学基金资助项目(7009409)~~
采用离子束溅射技术,溅射不同面积比例的Bi/Te二元复合靶,制备Bi2Te3热电薄膜,所制备的薄膜Bi∶Te原子比接近2∶3.X射线衍射测量结果显示,薄膜的主要衍射峰与Bi2Te3标准衍射峰相同,在(015)晶面上择优选向明显,存在少量的Bi和[Bi,Te]杂质...
关键词:凝聚态物理 离子束溅射 Bi2Te3薄膜 热电材料 晶体结构 电学性能 热处理 
离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究被引量:2
《功能材料》2010年第A02期239-242,共4页范平 梁广兴 张东平 蔡兴民 池京容 李盛艺 
广东省自然科学基金资助项目(7009409);深圳市科技计划资助项目(200729)
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(35~200nm)对其微结构与光电性能的影响。结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征...
关键词:CDS薄膜 离子束溅射 微结构 光电性能 
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