刘志凌

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院材料学系更多>>
发文主题：成核MPCVDX射线光刻掩模金刚石薄膜CVD更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《金刚石与磨料磨具工程》《无机材料学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究被引量：1
《无机材料学报》2004年第4期887-894,共8页李东辉 刘志凌 叶甜春 陈大鹏 吕反修 
介绍了金刚石膜在下一代X射线光刻掩模中应用的必要性;通过调节衬底温度,改变生长时间、控制甲烷浓度等工艺措施,实验研究了不同参数对成核密度及成核质量的影响,获得了高密度形核的样品;对形核后的预生长期进行了工艺优化,有效地控制...
关键词：成核 金刚石薄膜 MPCVD X射线光刻掩模 
硬质合金工具强电流直流伸展弧等离子体CVD金刚石涂层的均匀性研究
《金刚石与磨料磨具工程》2003年第2期7-10,13,共5页苗晋琦 宋建华 赵中琴 陈利民 刘志凌 张恒大 佟玉梅 唐伟忠 吕反修 
国家高技术研究与发展计划新材料领域"九五"重大项目 (No.863 - 71 5 -z38- 0 3)
采用自行研制的强电流直流伸展电弧等离子体CVD设备对真空渗硼预处理的YG6刀片进行了金刚石涂层沉积 ,并对放于有效沉积区域不同位置沉积出的金刚石涂层刀片以及刀片自身不同位置之表面涂层的形貌、厚度、质量进行了分析、研究。结果表...
关键词：CVD 金刚石涂层 均匀性 硬质合金工具 强电流直流伸展电弧 等离子体 
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