吴敬文

作品数：5被引量：10H指数：1
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供职机构：东南大学生物科学与医学工程学院生物电子学国家重点实验室更多>>
发文主题：原子力显微镜原子力显微镜观察铝硅合金硅二氧化钛更多>>
发文领域：电子电信电气工程更多>>
发文期刊：《微电子学》《东南大学学报（自然科学版）》《太阳能学报》《应用科学学报》更多>>
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双染料共敏化的纳米晶二氧化钛多孔电极的光伏特性研究被引量：8
《太阳能学报》1997年第2期164-167,共4页方靖淮 张向阳 吴敬文 毛海舫 沈耀春 陆祖宏 
通过化学吸附方法，在二氧化钛多孔电极上修饰甲基卟啉和酞菁锌两种染料，制备出双染料／ＴｉＯ２电极。酞菁和卟啉在可见光区有不同的吸收范围，它们共同修饰可使ＴｉＯ２电极在可见光区的光谱吸收和光电流响应具有较宽的范围，可提高...
关键词：二氧化钛 多孔电极 光电转换 太阳能电池 
原子力显微镜研究多晶硅和铝硅合金表面形貌
《应用科学学报》1996年第4期481-487,共7页吴敬文 陆祖宏 韦钰 朱伟民 
利用原子力显微镜研究了不同淀积温度条件下低压化学气相淀积（ＬＰＣＶＤ）多晶硅薄膜的表面形貌．发现淀积时间一定时，随着淀积温度的升高，多晶硅薄膜的晶粒尺寸和表面粗糙度均非线性地增大．另外，还研究了不同基片温度条件下磁控...
关键词：原子力显微镜 多晶硅 铝硅合金 表面形貌 薄膜 
铝硅合金表面纳米颗粒的原子力显微镜观察被引量：1
《微电子学》1996年第1期40-42,共3页吴敬文 陆祖宏 范捷 朱伟民 
利用原子力显微镜首次观察到２００℃磁控溅射铝硅合金表面存在纳米颗粒。经测量，此纳米颗粒直径约２０ｎｍ、高约１ｎｍ。根据此纳米颗粒的分布，讨论了磁控溅射薄膜的生长机理；同时，还讨论了此纳米颗粒对半导体工艺的影响。
关键词：半导体材料 纳米颗粒 原子力显微镜 铝硅合金 
扫描隧道谱研究半导体硅掺杂
《东南大学学报（自然科学版）》1995年第6期154-156,共3页吴敬文 陈浩 丁德胜 陆祖宏 韦钰 
扫描隧道谱研究半导体硅掺杂吴敬文，陈浩，丁德胜，陆祖宏，韦钰（东南大学生物医学工程系南京２１００１８）集成电路的集成度正以惊人的速度每年递增，目前，器件沟道尺寸在实验室中已达到０．０７μｍ，预计在今后的几年里，０．１...
关键词：扫描隧道谱 半导体 硅 掺杂 
原子力显微镜观察硅外延片的表面白雾缺陷被引量：1
《微电子学》1995年第4期48-50,共3页吴敬文 陆祖宏 韦钰 朱伟民 
本文利用原子力显微镜表征硅气相外延生长的白雾片和正常片。实验证明，白雾片是由许多高低起伏很大的颗粒构成的。而正常片的高低起伏很小，一定范围内无颗粒状结构。该实验清楚表明，形成白雾的原因是高低起伏的颗粒的光漫反射。
关键词：原子力显微镜 硅 气相外延生长 硅片表征 
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