李育峰

作品数：4被引量：15H指数：2
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供职机构：苏州大学更多>>
发文主题：ITO膜氧化铟锡ECR等离子体微波等离子体辅助更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空》《微细加工技术》《功能材料》《苏州大学学报（自然科学版）》更多>>
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在低基片温度下制备的 ITO 透明导电膜的性能被引量：2
《真空》1997年第6期10-13,共4页李育峰 程珊华 宁兆元 薛青 金宗明 马廷海 
发展了使用直流辉光放电等离子体辅助反应蒸发法在低温玻璃基片上制备ＩＴＯ膜的工艺，研究了主要的工艺参数，如Ｓｎ／Ｉｎ配比，氧分压，基片温度等对于膜的透光率和电阻的效应。
关键词：反应蒸发沉积 ITO膜 氧化铟锡 薄膜 
在塑料基底上低温沉积ITO透明导电膜被引量：1
《苏州大学学报（自然科学版）》1996年第3期34-36,共3页程珊华 李育峰 宁兆元 
本文叙述了使用等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备透明导电ITO膜的研究结果。成功地在室温的条件下,制备出了高透明的、满足防静电要求的产品。
关键词：等离子体 氧化铟锡 导电膜 塑料基底 反应蒸发法 
在有机玻璃基底上制备ITO透明导电膜被引量：3
《微细加工技术》1996年第2期54-57,共4页程珊华 李育峰 宁兆元 
使用直流辉光和微波电子回旋共振两种等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备了透明导电ＩＴＯ膜。在实验中详细地研究了氧分压对膜的透光率和方阻的影响。由于等离子体对膜料的活化和对基片表面的轰击效应．降低了沉积温度。
关键词：氧化铟锡导电膜 有机玻璃基底 低温淀积 
微波ECR等离子体辅助反应蒸发沉积ITO膜被引量：9
《功能材料》1995年第5期405-408,共4页程珊华 宁兆元 薛青 金宗明 高伟建 李育峰 
江苏省科委;教委自然科学基金
发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体（ＥＣＲ）辅助反应蒸发沉积薄膜的方法，并且使用它成功地在低气压（１０￣（－２）Ｐａ）、低温基片（３０～１００℃）上，不作后处理，直接制备出了附着力强，透光率高于８５％，方阻低于...
关键词：ITO膜 微波 ECR等离子体 真空蒸发 
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