王浙辉

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：光开关微机械各向异性腐蚀晶向大位移更多>>
发文领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》更多>>
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硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用被引量：2
《传感器技术》2005年第7期22-24,共3页王浙辉 李昕欣 王跃林 
国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033104)
在(100)硅上制作边沿<100>晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题。研究了边沿<100>晶向掩模的凸角补偿技术,提出了2种凸角补偿图形,并应用于竖直微镜制作。实验表明“工”形补偿可获得方...
关键词：各向异性腐蚀 削角补偿 微镜 微机械加工 
大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作被引量：2
《功能材料与器件学报》2003年第3期313-318,共6页王浙辉 李铁 王跃林 
国家重点基础研究发展规划项目<集成微光机电系统研究>资助(No.G1999033104)
报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57...
关键词：光开关 微动作器 大位移 静电驱动 有限元分析 设计 制作 微机械 光通信 自对准 
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