关冉

作品数：3被引量：6H指数：1
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：电极微机电技术微机械陀螺逆压电效应振动模态更多>>
发文领域：机械工程文化科学自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《振动与冲击》《微纳电子技术》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”航天支撑技术基金更多>>
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摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺被引量：1
《振动与冲击》2014年第19期104-108,共5页张弓 张卫平 许仲兴 汪濙海 成宇翔 唐健 关冉 陈文元 
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0593);微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目(9140C790405110C7904);上海交通大学研究生创新基金资助项目(Z-340-014);科学基金项目(2013ZC57003);预研基金9140A09010312JW03104的支持
提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构...
关键词：压电 体声波 柯氏效应 灵敏度 
基于厚度剪切振动的压电圆盘微陀螺的制作和分析
《传感器与微系统》2013年第9期115-117,121,共4页关冉 张卫平 许仲兴 张弓 成宇翔 陈文元 
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0593);微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目(9140C790405110C7904);上海交通大学研究生创新基金资助项目(Z-340-014)
基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现。为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆...
关键词：压电 圆盘谐振体 微机械陀螺 厚度剪切振动 MEMS工艺 
石英微机械陀螺的研究进展被引量：5
《微纳电子技术》2012年第3期173-180,共8页关冉 张卫平 陈文元 张弓 成宇翔 
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0583);航天支撑基金资助项目(11GFZ-JJ02-005);微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目(9140C790405110C7904);上海交通大学研究生创新基金资助项目(Z-340-014)
首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加...
关键词：石英 微机械陀螺 压电效应 科氏加速度效应 微电子机械系统(MEMS) 
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