茹华一

作品数：4被引量：10H指数：2
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：波长光栅纳米偏振感应耦合等离子体更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学生物学更多>>
发文期刊：《中国激光》《激光与光电子学进展》《应用激光》更多>>
所获基金：上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划国家杰出青年科学基金国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
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玻璃变晶体的技术:偏振分束深刻蚀石英光栅
《激光与光电子学进展》2008年第2期18-18,共1页周常河 王博 冯吉军 茹华一 
国家自然科学基金委杰出青年基金(60125512);上海市光科技行动计划(05DZ22004);上海-应用材料研究与发展基金(0518)项目资助
通过引入深刻蚀光栅结构,普通的石英玻璃可以表现出类似双折射晶体的偏振分光性能。这种深刻蚀光栅是一种亚波长光栅结构,仅存在两个衍射级次,通过光栅表面刻蚀深度的优化控制,实现不同偏振方向的光出射到不同衍射级次上,实现了偏振分...
关键词：石英玻璃 晶体 偏振分光器 光栅 
深刻蚀高密度熔融石英光栅被引量：2
《中国激光》2006年第2期175-178,共4页王顺权 周常河 茹华一 张妍妍 
国家杰出青年基金(60125512);上海市光科技行动计划(036105013);上海市优秀学科带头人计划(03XD14005)资助项目
深刻蚀高密度熔融石英光栅是一种新型高效的衍射光学元件,具有衍射效率高、成本低、抗损伤,能在高强度激光条件下工作等优点。给出了利用感应耦合等离子体(ICP)技术制作熔融石英深刻蚀光栅的详细过程,并在一定的优化条件下制作了一系列...
关键词：光栅 深刻蚀 感应耦合等离子体 熔融石英 
感应耦合等离子体技术用于熔融石英表面凹凸光栅的刻蚀被引量：7
《激光与光电子学进展》2004年第11期36-40,共5页王顺权 周常河 茹华一 张妍妍 
国家杰出青年基金(60125512)上海市光科技行动计划(036105013)上海市优秀学科带头人计划(03XD14005;0359nm004)资助课题
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是一种新的干法刻蚀技术,具有刻蚀速率高和各向异性刻蚀等优点,并且能够独立控制等离子体密度和自偏置电压。然而,在利用这种技术进行刻蚀的过程中,经常会发生聚合物的沉积,从而阻碍了刻蚀过程的继续。我...
关键词：刻蚀技术 光栅衍射 刻蚀速率 干法刻蚀 偏置电压 等离子体密度 各向异性刻蚀 感应耦合等离子体 熔融石英 表面 
波长为1.06μm的YAG激光脉冲照射小白鼠对其微循环的影响被引量：1
《应用激光》1991年第5期235-236,216,共3页曾真 刘德傅 查贵根 茹华一 江森华 
YAG激光脉冲照射小鼠后,其血流量明显增加,微循环得到改善,免疫功能增加。
关键词：激光脉冲 小白鼠 微循环 YAG激光 
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