庄岩

作品数:3被引量:5H指数:1
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Pt-Ni/p-InP低阻欧姆接触的机理研究被引量:1
《Journal of Semiconductors》1998年第5期397-400,共4页李秉臣 王玉田 庄岩 
本文利用X射线衍射和AES(俄歇)方法,深入地研究了RF磁控溅射淀积的Pt-Ni/p-InP(100)非合金膜系在热退火过程中Pt和Ni与衬底InP中的In和P形成稳定化合物的行为。
关键词:半导体器件 欧姆接触 磷化铟 
双势垒超晶格结构的同步辐射及X射线双晶衍射研究被引量:3
《物理学报》1996年第10期1709-1716,共8页王玉田 庄岩 江德生 杨小平 姜晓明 武家杨 修立松 郑文莉 
利用高精度的X射线双晶衍射和同步辐射散射对可用于半导体红外探测器的双势垒超晶格材料进行了研究,并运用X射线衍射动力学理论进行模拟计算,得到了与实验结果符合得很好的理论曲线.同时发现包络函数节点处的卫星峰对结构参数的变...
关键词:X射线衍射 双势垒 超晶格 
高精度双晶衍射(HRDCD)方法检测InGaAs/GaAs超薄应变层量子阱结构参数被引量:1
《Journal of Semiconductors》1995年第3期170-176,共7页王小军 庄岩 王玉田 庄婉如 王启明 黄美纯 
应变超薄层结构的组分、厚度、应变状态的直接检测,对于器件应用具有重要的意义,本文中,利用MOCVD方法得到高质量的InGaAs/GaAs量子阱材料,采用双晶衍射方法的弱信号收集技术,结合运动学理论模拟,得出同时包含几...
关键词:砷化镓铟 砷化镓 量子阱结构 参数 HRDCD法 检测 
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