柳文军

作品数：48被引量：112H指数：6
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发文主题：脉冲激光沉积ZNOZNO薄膜掺杂气敏性能更多>>
发文领域：理学电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《分析化学》《材料研究学报》《电源技术》更多>>
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第三代半导体氮化镓材料单晶制备技术及应用前景被引量：1
《广东化工》2024年第4期49-51,75,共4页朱曦 黎晓华 贺威 李煜 朱德亮 曹培江 柳文军 姚蕾 韩舜 曾玉祥 吕有明 刘新科 
广东省自然科学杰出青年项目(2022B1515020073);深圳大学2022年教学改革研究项目(JG2022035)。
随着科技的发展,半导体材料与人们的生活息息相关。氮化镓作为第三代半导体材料的代表,具有宽禁带、介电系数小、高电子迁移率、高热导率和耐辐射的优点,广泛用于光电器件、微电子领域中。本文详细阐述了氮化镓一维纳米线、单晶衬底的...
关键词：氮化镓 一维纳米线 单晶衬底 光电器件 微电子 
多晶金刚石薄膜日盲紫外探测器件的电极制备被引量：2
《发光学报》2022年第12期1974-1982,共9页陈子依 张伟亮 荣曦明 韩舜 曾玉祥 曹培江 方明 柳文军 朱德亮 吕有明 
国家自然科学基金(51872187,11774241,12074263,21805194);广东省自然科学基金(2021A1515012013);深圳市学科布局项目(JCYJ20180508163404043,JCYJ2018030507182248925)资助。
通过在直流等离子体喷射化学气相沉积(DC-PJCVD)法生长的多晶金刚石薄膜上制备Au叉指电极,构建了金属-半导体-金属(MSM)结构的日盲紫外探测器件。研究了不同光刻工艺对制备的金刚石探测器件性能的影响。结果表明,lift-off光刻工艺所制...
关键词：金刚石薄膜 lift-off光刻工艺 Ag电极 日盲紫外探测器 
退火温度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响（英文）被引量：2
《深圳大学学报（理工版）》2019年第4期375-381,共7页覃金牛 温喜章 冯武昌 许望颖 朱德亮 曹培江 柳文军 韩舜 刘新科 方明 曾玉祥 吕有明 
National Natural Science Foundation of China(61704111,51872187,11774241,51371120);Natural Science Foundation of Guangdong Province(2017A030310524);Science and Technology Foundation of Shenzhen(JCYJ20170818143417082,JCYJ20170817100611468)~~
为研究退火温度(从室温到500℃)对ZnO薄膜和薄膜晶体管(thin-film transistor,TFT)电性能的影响,使用X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线光电子能谱和光致发光等技术对ZnO-TFT进行表征。实验结果表明,具有400℃退火温度的Z...
关键词：薄膜材料 ZNO 薄膜晶体管 退火温度 迁移率 界面 
浅谈相关课程的互动教学——以“半导体器件物理”和“硅集成电路工艺基础”为例被引量：3
《广东化工》2018年第2期204-205,共2页刘新科 柳文军 朱德亮 吕有明 
国家重大研发计划(2017YFB0404100;and 2017YFB0403000);国家自然科学基金青年项目(61504083);广东省省级科技计划项目(2015A010103016)
随着全球信息化进程的加快,微电子产业在国民经济中占据了重要的地位。因此,让学生更好地学习相关应用课程对于推动微电子产业的发展具有重要意义。《硅集成电路工艺》和《半导体器件物理》则是微电子专业学生重要的两门课程。本文以此...
关键词：微电子 教学改革 互动教学 
Pd颗粒表面修饰ZnO纳米线阵列的制备及其气敏特性被引量：3
《发光学报》2017年第8期1033-1038,共6页杨志博 曹培江 韩舜 刘新科 柳文军 贾芳 曾玉祥 许望颖 朱德亮 吕有明 
国家自然科学基金(51371120,51302174,61504083);广东省自然科学基金(2016A030313060);深圳市科技计划(JCYJ20150324141711655);深圳大学学生创新发展基金(PIDF-2016ZR021)资助项目~~
采用化学气相沉积(CVD)方法在SiO_2/Si衬底生长了ZnO纳米线阵列,纳米线长约为15μm,直径为100~500 nm。通过改变溅射沉积时间(0~150 s),在ZnO纳米线表面包覆了不同厚度的Pd薄膜。在Ar气氛中,经800℃高温退火后,制备出Pd颗粒表面修饰的Zn...
关键词：气敏特性 ZNO纳米线 Pd颗粒 表面修饰 
生长温度对立方MgZnO薄膜生长取向和紫外光吸收特性的影响
《发光学报》2014年第8期939-944,共6页彭赛 吕有明 韩舜 曹培江 柳文军 曾玉祥 贾芳 朱德亮 
国家自然科学基金(60976036,51371120,51302174);深圳市特种功能材料重点实验室开放基金(T201205)资助项目
利用脉冲激光沉积技术在非晶石英衬底上制备立方结构MgZnO薄膜,并研究MgZnO薄膜结晶特性、光学带隙随生长温度的变化情况。当生长温度从150℃升高到700℃时,MgZnO薄膜的生长取向由(200)向(111)转变。在600℃以下,MgZnO薄膜光学带隙的变...
关键词：MGZNO 脉冲激光沉积 光学带隙 生长温度 
不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析被引量：2
《材料导报》2014年第14期1-3,共3页曹培江 解振宇 韩舜 柳文军 贾芳 曾玉祥 朱德亮 吕有明 
国家自然科学基金(60976036;51371120;51302174);深圳市科技计划项目
采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响。研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO...
关键词：ZNO纳米棒阵列 化学气相沉积 发光性能 
不同Ar/O_2气压比例条件下立方MgZnO薄膜生长特性及紫外光吸收特性
《发光学报》2014年第6期684-688,共5页韩舜 彭赛 曹培江 柳文军 曾玉祥 贾芳 朱德亮 吕有明 
国家自然科学基金(60976036;51371120;51302174);深圳市科技计划项目;深圳市特种功能材料重点实验室开放基金(T201205)资助项目
利用脉冲激光沉积技术在非晶石英衬底上制备了立方结构MgZnO薄膜,研究了在不同Ar/O2气压比例条件下,立方结构MgZnO薄膜的生长取向、光学带隙和Mg/Zn含量比例的变化规律。当固定氧气分压为2Pa、通过注入惰性的Ar气使生长气压从2 Pa升高到...
关键词：ZNO MGZNO 脉冲激光沉积 紫外探测器 
ZnO纳米/微米结构传感器对乙醇气敏性研究被引量：3
《发光学报》2014年第4期460-464,共5页曹培江 彭双娇 韩舜 柳文军 贾芳 曾玉祥 朱德亮 吕有明 
国家自然科学基金(60976036;51371120;51302174);深圳市科技计划项目资助
采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器。扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示:合成的ZnO纳米/微米结构尺寸在200 nm^100μm之间,传感器最...
关键词：ZNO 化学气相法 气敏特性 缺陷含量 
氧气流量对Mg_x Zn_(1-x)O薄膜择优取向的影响被引量：1
《人工晶体学报》2013年第3期437-440,共4页邵玉坤 韩舜 吕有明 曹培江 柳文军 曾玉祥 贾芳 朱德亮 马晓翠 
国家自然科学基金(60976036);深圳市科技计划项目;深圳大学基础研究科研项目(201201);深圳市特种功能材料重点实验室开放基金(T201205)
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响。结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向;在沉积压强8.0 Pa...
关键词：ZNO MGZNO 脉冲激光沉积 氧气流量 
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