谢传钵

作品数：4被引量：11H指数：1
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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发文领域：电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
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针孔相机的研制被引量：1
《光电工程》1999年第S1期144-149,共6页谢传钵 
介绍用于"神光Ⅱ"激光聚变靶室的针孔相机的结构设计、工作原理、精度分析和研制结果。该针孔相机利用光学－ＣＣＤ－ＴＶ成象电动对准技术实现了对靶的对准，重复精度在Ｘ方向≤５μｍ，在Ｙ方向≤７μｍ。
关键词：CCD摄相机 激光聚变 靶室 对准系统 
分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究被引量：10
《光电工程》1996年第4期65-72,共8页谢传钵 
国家"七.五"科技攻关项目
介绍了“１．５～２微米实用型分步重复投影光刻机”用的精密快速定位工件台的设计、结构特点、精度分析、检测及使用情况。工件台由大行程Ｘ－Ｙ工件台、微动台（Δｘ，Δｙ）和调平微转台（Δｚ１，Δｚ２，Δｚ３，Δθ）组成。同时...
关键词：分步重复光刻机 工件台 精密定位 投影光刻机 
从SEMICON/WEST′91看当今光刻设备的发展(出国参观考察报告)
《光电工程》1992年第3期52-64,共13页姚汉民 黄泽永 谢传钵 陈旭南 
本文介绍了参加SEMICON/WEST′91展览会所见到的国外光刻设备——新研制的制造亚微米器件(16Mb)用的半导体设备已面市。特别引人注目的是许多公司已推出它们的新型光刻设备——0.5～0.8μm硅片分布重复光刻机,如ASM公司的PAS-5500型,Ult...
关键词：展览会 发展 光刻机 
FCG-1型仿形仪精度分析
《光电工程》1990年第6期58-62,共5页谢传钵 
本文分析了FCG-1型仿形仪的静态精度,指出对静态精度有较大影响的因素是传感器的X,Y,Z三个轴的垂直度误差;阿贝误差;模指变形;温度。
关键词：数控仿形铣床 仿形仪 FCG-1型 精度 
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