张文军

作品数：3被引量：8H指数：2
导出分析报告
供职机构：兰州大学物理系更多>>
发文主题：金刚石薄膜金刚石织构掺杂硼更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《科学通报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
织构金刚石薄膜的成核与生长被引量：3
《物理学报》1996年第1期88-93,共6页张文军 韩立 胡博 涨仿清 陈光华 
在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下，用微波等离子体化学汽相沉积（Ｍ３ＶＣＶＤ）技术在Ｓｉ（１００）衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和取向Ｘ射线衍射技术证实了我们得到的样品是织构的金刚石薄膜观...
关键词：金刚石 薄膜 CVD 成核 
硼掺杂及未掺杂金刚石薄膜的电学和光电导特性被引量：3
《Journal of Semiconductors》1995年第10期783-788,共6页张仿清 张文军 胡博 谢二庆 陈光华 
用热丝辅助化学气相沉积法合成了未掺杂及Ｂ掺杂金刚石薄膜，测量了退火前后的电流一电压和光电导特性．实验结果表明，Ｈ原子对未掺杂金刚石膜的电学和光电导特性有很大影响．对于掺杂样品，随着Ｂ含量的增高，Ｂ的作用更加明显，而Ｈ...
关键词：金刚石薄膜 电学 光电导 掺杂 硼 
用微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)法在(100)Si衬底上沉积织构金刚石膜被引量：2
《科学通报》1994年第23期2203-2203,共1页张文军 张仿清 胡博 韩立 陈光华 
国家"八六三"高技术基金资助项目
人工合成金刚石薄膜最重要的应用前景之一是有可能成为新一代高温、高频、大功率半导体器件的材料,但由于多晶金刚石膜中颗粒的晶向分布杂乱,而且存在大量的晶粒间界和缺陷,大大地影响了膜的质量,不可能用以制造高性能的电子器件,所以...
关键词：金刚石 薄膜 人工合成 气相沉积 MWCVD 硅 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部