韩立

作品数：3被引量：5H指数：2
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发文主题：金刚石织构金刚石薄膜成核CVD更多>>
发文领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《兰州大学学报（自然科学版）》《科学通报》更多>>
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金刚石薄膜在热敏打印头上的应用
《兰州大学学报（自然科学版）》1996年第4期40-43,共4页王志勇 姚江宏 韩立 陈光华 
首次报道了用微波等离子体化学气相沉积（ＭＷＣＶＤ）技术在ＴａＮ２电阻材料上沉积高质量金刚石薄膜的制备工艺，以及扫描电镜、Ｘ射线衍射、拉曼光谱、压痕测试的测试结果。
关键词：金刚石 薄膜 热敏打印机 打印机 热敏打印头 
织构金刚石薄膜的成核与生长被引量：3
《物理学报》1996年第1期88-93,共6页张文军 韩立 胡博 涨仿清 陈光华 
在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下，用微波等离子体化学汽相沉积（Ｍ３ＶＣＶＤ）技术在Ｓｉ（１００）衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和取向Ｘ射线衍射技术证实了我们得到的样品是织构的金刚石薄膜观...
关键词：金刚石 薄膜 CVD 成核 
用微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)法在(100)Si衬底上沉积织构金刚石膜被引量：2
《科学通报》1994年第23期2203-2203,共1页张文军 张仿清 胡博 韩立 陈光华 
国家"八六三"高技术基金资助项目
人工合成金刚石薄膜最重要的应用前景之一是有可能成为新一代高温、高频、大功率半导体器件的材料,但由于多晶金刚石膜中颗粒的晶向分布杂乱,而且存在大量的晶粒间界和缺陷,大大地影响了膜的质量,不可能用以制造高性能的电子器件,所以...
关键词：金刚石 薄膜 人工合成 气相沉积 MWCVD 硅 
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