张昌盛

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：掺ERER富硅氧化硅光致发光离子注入更多>>
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离子注入制备掺Er富硅氧化硅材料光致发光
《功能材料与器件学报》2004年第2期151-154,共4页张昌盛 肖海波 王永进 陈志君 程新利 张峰 
国家863计划(No.2001AA312070)
利用离子注入方法制备了掺Er富硅氧化硅材料,用XRD,TEM方法研究材料微观结构,并测量了样品的光致发光(PL),研究了发光强度随测量温度的变化。试验表明:在1173K以上退火,注入硅集聚,形成φ(2-4)nm的纳米晶硅(nc-Si),纳米晶硅外面包裹非晶...
关键词：ER 富硅氧化硅 光致发光 温度淬灭 
掺Er-Al_2O_3薄膜发光特性的研究被引量：2
《科技通讯（上海）》2004年第1期29-32,共4页肖海波 张峰 张昌盛 程新利 王永进 陈志君 林志浪 张福民 邹世昌 
国家863计划(No.2001AA312070)
通过离子束辅助沉积(IBAD)在热氧化SiO2上沉积Al2O3薄膜,在120keV下注入5×1015cm-2Er离子,Ar气氛下773～1273K退火1h。低温下测试PL谱线,随退火温度升高,发光强度上升。973K退火下发光强度特别低,并观察到Si衬底的1140nm峰。光透射谱...
关键词：离子束辅助沉积 AL2O3薄膜 掺杂 PL谱 光透射谱 发光特性 
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