徐进

作品数：5被引量：2H指数：1
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供职机构：大连东软信息学院更多>>
发文主题：HFOHFO2薄膜铁电薄膜相变铁电更多>>
发文领域：一般工业技术理学电气工程化学工程更多>>
发文期刊：《功能材料》《湘潭大学学报（自然科学版）》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金电子薄膜与集成器件国家重点实验室基础研究开放创新基金更多>>
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一阶回转曲线图谱法及其在HfO_(2)基铁电薄膜极化翻转行为研究中的应用被引量：1
《物理学报》2021年第12期299-309,共11页石志鑫 周大雨 李帅东 徐进 Uwe Schröder 
国家自然科学基金(批准号:51972037)资助的课题。
铁电材料的极化翻转特性是铁电存储器实现"0,1"信息读写的物理基础,因此极化翻转的稳定性直接决定器件的服役可靠性.在交变电场循环载荷下,HfO_(2)基新型铁电薄膜存在唤醒(wake-up)、疲劳(fatigue)和极化翻转电流峰分裂(split-up)等极...
关键词：一阶回转曲线图谱法 铁电薄膜 二氧化铪 极化翻转 
HfO2基铁电薄膜在循环电场载荷下的极化翻转行为
《湘潭大学学报（自然科学版）》2019年第5期104-120,共17页李帅东 周大雨 徐进 石志鑫 Uwe Schr der 
国家自然科学基金资助项目(NSFC 51672032,51972037)
二氧化铪(HfO2)铁电薄膜具有优秀的CMOS工艺兼容性,10 nm以下工艺制程的微缩能力,可采用原子层沉积(ALD)技术实现在3D电容器结构中的保型生长,因此在实现低功耗、高集成密度的非易失性存储器应用方面显示出巨大的潜力.该文首先简要回顾...
关键词：铁电薄膜 二氧化铪 极化翻转 wake-up效应 疲劳 split-up效应 
钇掺杂量和膜厚对HfO_2纳米薄膜相结构的影响
《功能材料》2017年第10期10154-10158,共5页杨喜锐 王雪霞 周大雨 徐进 闫泳 梁海龙 
国家自然科学基金资助项目(51272034;51672032);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT15LAB23)
二氧化铪(HfO_2)是广泛应用于微电子器件制备的电介质绝缘材料,其高介电系数四方相或立方相的稳定受掺杂元素含量和薄膜厚度的共同影响。采用纯水基溶胶-凝胶法在低阻硅基底上制备不同厚度的钇掺杂HfO_2薄膜,通过对薄膜晶相结构的X射线...
关键词：HFO2薄膜 相变 钇含量 膜厚 溶胶-凝胶 
衬底温度对直流反应磁控溅射TiN电极薄膜显微结构及导电性能的影响
《功能材料》2017年第8期203-207,共5页周方杨 徐进 杨喜锐 梁海龙 赵鹏 周大雨 
国家自然科学基金资助项目(51272034,51672032);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT15LAB23)
二氧化铪基新型铁电薄膜器件等研究提出了在低衬底温度下制备高导电性和低表面粗糙度纳米超薄TiN电极薄膜的迫切需求。利用直流反应磁控溅射方法在单晶硅基片上制备TiN薄膜,衬底温度范围从室温~350℃,以XPS、XRD、AFM以及XRR等为主要手...
关键词：TIN 电极薄膜 衬底温度 电阻率 
Si掺杂HfO_2薄膜的铁电和反铁电性质被引量：1
《物理学报》2014年第11期286-290,共5页周大雨 徐进 Johannes Müller Uwe Schroder 
国家自然科学基金(批准号:51272034);电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金(批准号:KFJJ201101)资助的课题~~
通过改变Si掺杂量制备出了具有显著铁电和反铁电特征的HfO2纳米薄膜,对其电滞回线、电容-电压和漏电流-电压特性以及物相温度稳定性进行了对比研究.反铁电薄膜的介电系数大于铁电薄膜,在电场加载和减载过程中发生的可逆反铁电-铁电相变...
关键词：HFO2薄膜 铁电 反铁电 相变 
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