阎震

作品数：6被引量：4H指数：1
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发文主题：金刚石薄膜金刚石电弧等离子体成膜热沉更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《北京理工大学学报》《化工学报》《高技术通讯》《微细加工技术》更多>>
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高速合成的金刚石薄膜性能被引量：1
《高技术通讯》1991年第5期17-19,共3页阎震 施海良 唐森 李荣志 朱鹤孙 
关键词：金刚石薄膜 薄膜性能 合成 
金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究
《化工学报》1991年第5期611-616,共6页阎震 李荣志 朱鹤孙 
国家863新材料专家组资助
本文采用直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜,对其进行了拉曼光谱及扫描电镜分析.并介绍了几种实验中常见的晶形.最后对金刚石的形成过程作了初步探讨.
关键词：金刚石薄膜 沉积 成膜 
金刚石薄膜热沉的开发被引量：1
《微细加工技术》1991年第2期66-71,共6页施海良 阎震 李荣志 唐森 朱鹤孙 
本文综述了金刚石热沉的发展过程,指出了开发金刚石薄膜热沉的意义,介绍了用直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石薄膜的热性质以及金刚石薄膜热沉表面的抛光和金属化方法。
关键词：金刚石 薄膜 热沉 
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜被引量：1
《北京理工大学学报》1991年第2期48-52,共5页李荣志 阎震 钟生东 张忠廉 朱鹤孙 
国家新材料专家委员会(NAMCC)资助项目
设计了一种以较高速度合成金刚石薄膜的装置。这种装置是在阴极和阳极间用甲烷氢气及氩气产生高密度等离子体射流。等离子体射流以高速度喷射于被冷却的基底上,从而形成金刚石薄膜。
关键词：金刚石 薄膜 等离子体喷射 
气相法制备金刚石的新进展
《微细加工技术》1990年第2期25-30,共6页阎震 李荣志 朱鹤孙 
本课题系国家新材料专家小组
本文对气相法制备金刚石技术的新发展作了综述,同时介绍了自行设计的低压直流电弧等离子体喷射法装置,并对所制备的金刚石薄膜进行了拉曼光谱及扫描电镜的分析与评价。
关键词：金刚石 气相法 制备 薄膜 
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜被引量：1
《北京理工大学学报》1989年第3期18-18,共1页阎震 李荣志 朱鹤孙 
金刚石是一种性能非常优异的功能材料。近年来在低压下由气相沉积合成金刚石薄膜的研究引起了很多国家和科学技术工作者的兴趣。 我们设计的低压直流电弧等离子体喷射装置制备出的金刚石薄膜有较高的沉积速度,结构良好。
关键词：金刚石薄膜 电弧等离子体 喷射法 
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