付强

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：青岛科技大学材料与环境科学学院更多>>
发文主题：金刚石膜热丝化学气相沉积化学气相沉积复合膜金刚石薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《功能材料》《青岛科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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PAHFCVD金刚石膜表面形貌的研究
《青岛科技大学学报（自然科学版）》2005年第6期513-515,522,共4页付强 石玉龙 丁发柱 
国家自然科学基金资助项目(50273016)
采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置进行了金刚石薄膜、碳化钛/金刚石复合膜、掺硼金刚石薄膜的制备.制备条件分别为:V(CH)4:V(H2)=3:100,载气流量5～50 cm3·s-1,钛源钛酸异丙酯(Ti[OC3H 7]4),硼源硼酸三甲酯(BC3O4H9),基体...
关键词：金刚石 等离子体热丝化学气相沉积 复合膜 
等离子热丝化学气相沉积金刚石膜工艺参数研究被引量：2
《功能材料》2005年第7期1056-1058,共3页毕京锋 付强 石玉龙 
山东省自然科学基金资助项目(Y2001F10)
采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石...
关键词：等离子 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 
等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石复合膜
《青岛科技大学学报（自然科学版）》2004年第4期332-334,共3页毕京锋 石玉龙 付强 
山东省自然科学基金项目 (Y2 0 0 1F10 )
运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石 /碳化钛复合膜的沉积。实验条件 :甲烷流量与氢气流量比为 1∶5 0 ,基体温度 860℃ ,等离子体偏压 30 0V ,沉积气压 4kPa。运用扫描电子显微镜 (SEM )分别观察了沉积...
关键词：金刚石膜 复合膜 化学气相沉积 
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