徐超

作品数：2被引量：28H指数：2
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发文领域：医药卫生自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
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Cr薄膜的沉积与湿法刻蚀工艺研究被引量：9
《传感技术学报》2006年第05A期1437-1440,共4页李兆泽 徐超 吴学忠 万红 李圣怡 
国家自然基金项目资助(50375154)
通过台阶仪和扫描电镜、原子力显微镜测试观察了PVD方法制作Cr薄膜的溅射速率和表面形貌,实验分析了相关工艺参数对溅射速率的影响情况,并对薄膜的湿法刻蚀工艺进行了初步研究.同时给出了Cr膜与其腐蚀后的电阻图形的显微镜照片.
关键词：PVD 薄膜 湿法刻蚀 台阶仪 扫描电镜 原子力显微镜 
MEMS固体微推进器中Cr薄膜点火电阻的研究被引量：22
《传感技术学报》2006年第05A期1411-1414,1418,共5页徐超 李兆泽 万红 吴学忠 
点火电路是MEMS固体化学微推进器中最重要的组成部分,其点火电压的大小及点火可靠性则主要取决于点火电阻.国内外均采用多晶硅(polysilicon)或贵金属铂(Pt)作为点火电阻材料,所制备出来的点火电阻的阻值都比较大,需要的点火电压较高(40...
关键词：MEMS 微推进器 点火电阻 铬薄膜 点火电压 
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