王鑫垚

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：探针硅测头可调球径仪更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程天文地球农业科学更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《仪表技术与传感器》《电子显微学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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激光共聚焦显微镜的Overview功能应用于古气候纹层学的扫描技巧被引量：2
《电子显微学报》2021年第3期265-269,共5页曲晓丽 朱楠 王鑫垚 赵景耀 董西瑀 
国家自然科学基金资助项目(No.41888101);西安交通大学实验室与资产管理研究课题(No.2020SYSYB04)。
激光扫描共聚焦显微镜(laser scanning confocal microscope,LSCM)的Overview功能,即对大视野的总览扫描,可以对视野的不同位置进行分别定焦,在扫描大图像过程中实现对焦面变化的平滑过渡,得到聚焦准确、亮度均衡的完整大图像。为了推广...
关键词：激光共聚焦显微镜 Overview功能 古气候纹层学 大图像 
基于探针形式的三维硅微力传感器被引量：1
《微纳电子技术》2009年第4期231-235,共5页林启敬 赵玉龙 蒋庄德 王鑫垚 王伟忠 
国家自然科学计划资助项目(60776048);国家863项目(2007AA04Z325)
为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁,支撑中间的与微力学探针结合在...
关键词：微机电系统 微力传感器 探针 三维力 压阻 
三维微力探针传感器技术研究被引量：1
《仪表技术与传感器》2009年第2期17-19,共3页王鑫垚 吴伟 林启敬 赵玉龙 
结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器。通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点。并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精...
关键词：三维微力 MEMS 压阻效应 集成 探针 
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