迟晓珠

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供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文主题：加速度计加速度传感器MEMS压阻式硅微加速度计更多>>
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应用在加速度传感器中的集成模拟积分器被引量：5
《计量与测试技术》2005年第12期13-14,16,共3页王晓兰 迟晓珠 王玉斌 
普通加速度计只能输出单向加速度信号,速度和位移量需要经过后续软件进行积分处理得到。本文着重介绍了加速度计输出信号的电子积分原理和电路设计,该集成模拟积分器具有积分精度高、转换速度快、动态范围宽、电路结构简单等特点。
关键词：加速度计 集成模拟积分器 ACF2101 
一种新型智能单向加速度、速度、距离传感器
《计量与测试技术》2004年第3期17-18,20,共3页王晓兰 迟晓珠 巍飞 
本文对智能单向加速度、速度、距离传感器的工作原理、结构进行了分析和讨论 ,并对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨。该传感器是利用压阻效应将加速度信号转换成电信号 ,再对此信号进行两次积分处理 ,得到速度、距离的电信号 ...
关键词：传感器 加速度 信号转换 阻尼系数 结构设计 电路设计 
压阻式硅微加速度计的研制被引量：1
《传感器技术》2003年第12期40-42,共3页张精华 田雷 迟晓珠 王伟 侯占民 吴亚林 
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺...
关键词：压阻式 硅微加速度计 结构设计 等离子体刻蚀 MEMS 
轴承负荷法用于鳍轴升力的测量
《计量与测试技术》2003年第4期14-14,16,共2页迟晓珠 于桂臻 孙光岩 
提出一种测量鳍轴力矩的新方法—轴承负荷法 ,即利用安装在轴承与轴承座之间的测力传感器直接测量轴承负荷 ,再通过鳍轴作用点长度得出轴所受力矩。
关键词：轴承负荷法 鳍轴 升力 测量 测力传感器 船舶操纵 
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