侯占民

作品数：4被引量：19H指数：1
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发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《经济技术协作信息》《黑龙江大学自然科学学报》更多>>
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高精度电容式过载传感器
《经济技术协作信息》2011年第15期150-151,共2页侯占民 石婷婷 盛健 刘宝伟 
基于电容原理的过载传感器具有体积小、灵敏度高，重复性好、稳定性好的特点，利用软件、硬件补偿技术可以进一步提高此类传感器线性误差和温度性能指标，以使电容式传感器的线性度及温度性能达到很高的指标，进一步满足过载传感器高精...
关键词：电容式过载传感器 高精度 补偿技术 
一种高温绝压传感器弹性膜片技术研究被引量：1
《黑龙江大学自然科学学报》2009年第6期822-824,829,共4页侯占民 王金文 杨金梅 崔宏敏 
介绍了该高温绝压传感器的原理和特点,设计了传感器关键元件弹性膜片结构,制定了一套弹性膜片的制作工艺,使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来,弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态,解决了该传感器精度的关键技术,研制...
关键词：高温 绝压传感器 弹性膜片 
单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法被引量：17
《传感器与微系统》2006年第7期33-35,39,共4页王世清 姜彤 侯占民 
介绍了单晶硅压力传感器温度漂移的机理，阐述了采取串并联电阻网络和有源电路分段等综合补偿方法的补偿原理。实验结果表明：在－45～85℃温区内，补偿后，热零点漂移和热灵敏度漂移从±0．5％FS／℃提高到±0．014％FS／℃。
关键词：传感器 热零点漂移 热灵敏度漂移 补偿 
压阻式硅微加速度计的研制被引量：1
《传感器技术》2003年第12期40-42,共3页张精华 田雷 迟晓珠 王伟 侯占民 吴亚林 
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺...
关键词：压阻式 硅微加速度计 结构设计 等离子体刻蚀 MEMS 
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