杨帆

作品数:5被引量:52H指数:2
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供职机构:上海交通大学材料科学与工程学院更多>>
发文主题:DEM技术SU-8胶高深宽比光刻毛细管电泳更多>>
发文领域:电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《光学精密工程》《微细加工技术》《广州化工》《郑州大学学报(工学版)》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
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纳米氧化钨气敏传感器研究进展
《现代制造技术与装备》2016年第12期23-26,共4页杨帆 尹桂林 葛美英 何丹农 
国家自然科学基金(21677095)
在对各种有害气体检测的研究领域内,纳米半导体金属氧化物气敏传感器有着十分重要的地位。作为一种n型半导体金属氧化物,氧化钨因其独有的结构和性能特点,成为近年来气敏材料的研究重点和热点。本文简单介绍氧化钨系气敏材料的气敏响应...
关键词:纳米材料 氧化钨 气敏传感器 
铜掺杂氧化锡的制备及其气敏性能研究被引量:2
《郑州大学学报(工学版)》2016年第3期48-51,共4页胡骏 葛美英 尹桂林 杨帆 何丹农 
科技部国际合作项目(KY201302007)
利用PVP为表面活性剂,将氯化亚锡和氯化铜溶解在草酸水溶液中,通过简单温和的一步水热法,制备了铜掺杂的氧化锡,采用XRD、SEM、TEM等测试手段对材料的结构和形貌进行了表征,并使用气敏测试设备WS-30A系统研究了氯化铜的掺杂比例在0-20%...
关键词:水热法 铜掺杂SnO2 硫化氢 气敏性能 
多孔分级结构金属氧化物气体传感器研究概述
《广州化工》2012年第22期26-28,共3页杨帆 
多孔和分级结构因其大的表面积和有助于气体运输的特点而拥有理想的气敏性能。本文分别综述了应用于气体传感的多孔和分级结构金属氧化物的主要制备方法,并介绍了一种新的基于生物模板合成多孔分级结构金属氧化物的方法。由于其形貌中...
关键词:气体传感 多孔分级结构 金属氧化物半导体 
基于DEM技术的塑料毛细管电泳芯片加工工艺被引量:2
《微细加工技术》2002年第4期61-65,共5页张立国 陈迪 杨帆 李以贵 
传统的毛细管电泳芯片基体材料以硅和玻璃为主 ,成本较高 ,且不适合于生化领域。而以聚合物作为基片材料 ,由于材料成本较低 ,且微复制方法成本也很低 ,因此可望在商业上取得广泛的应用。采用DEM技术 ,利用感应偶合等离子体 (ICP)刻蚀...
关键词:DEM技术 塑料 毛细管 电泳芯片 加工工艺 
SU-8胶光刻工艺研究被引量:48
《光学精密工程》2002年第3期266-270,共5页张立国 陈迪 杨帆 李以贵 
国家自然科学基金资助 (No .5 9875 0 6 0 )
SU - 8胶是一种基于环氧SU - 8树脂的环氧型的、近紫外光、负光刻胶。其专门用于在非常厚的底层上需要高深宽比的应用。但是SU - 8胶对工艺参数的改变非常敏感。本文对影响光刻后图形质量的主要工艺参数前烘温度和时间、中烘温度和时间...
关键词:SU-8胶 高深宽比 光刻 
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