王慧

作品数：14被引量：62H指数：4
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供职机构：中国建筑材料科学研究总院更多>>
发文主题：石英玻璃氟气抗酸性光学均匀性网络更多>>
发文领域：化学工程电子电信理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《玻璃》《武汉理工大学学报》《光学精密工程》《陶瓷》更多>>
所获基金：国际科技合作与交流专项项目国家科技支撑计划更多>>
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光学石英玻璃的合成制备和应用被引量：1
《建筑玻璃与工业玻璃》2017年第6期8-12,17,共6页聂兰舰 王玉芬 向在奎 饶传东 王慧 
光学石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学石英玻璃合成制备工艺...
关键词：光学材料 石英玻璃 合成制备 等离子化学气相沉积 应用 半导体集成电路 光电子技术 综合性能 
抛光石英玻璃亚表面缺陷研究被引量：5
《硅酸盐通报》2017年第S1期47-49,77,共4页杜秀蓉 张晓强 王慧 孙元成 宋学富 隋镁深 
针对抛光石英玻璃表面经氢氟酸溶液刻蚀后,出现麻点、划痕等缺陷;本文对出现的亚表面缺陷进行了分类,并研究了各种缺陷经氢氟酸溶液刻蚀后形态变化;结合石英玻璃加工过程对各类亚表缺陷的成因进行了分析。
关键词：石英玻璃 亚表面缺陷 研磨抛光 刻蚀 
常压高频等离子体电子温度的光谱法诊断被引量：2
《光谱学与光谱分析》2017年第2期368-373,共6页孙元成 宋学富 杜秀蓉 张晓强 王慧 
国家科技支撑计划项目(2013BAE03B01);国家国际科技合作专项(2012DFA51310);中国建筑材料科学研究总院青年科学基金项目(2013-YT-91)资助
常压高频等离子体由于其无电极污染、能量密度大、温度高及气氛可控的特点而得到了广泛应用,电子温度是影响其使用性能的关键参数,根据发射光谱使用玻尔兹曼图解法计算是最常用且最可行的诊断方法,但由于跃迁几率数据可靠性、环境背景...
关键词：高频等离子体 发射光谱 电子温度 
高性能光学合成石英玻璃的制备和应用被引量：22
《光学精密工程》2016年第12期2916-2924,共9页聂兰舰 王玉芬 向在奎 王蕾 王慧 
国家国际科技合作专项资助项目(No.2012DFA51310);中国建筑材料科学研究总院前沿探索基金资助项目(No.YT-112)
介绍了制备光学合成石英玻璃的常用工艺方法,包括化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等;给出了不同光学石英玻璃使用的原材料、它们的特点及其在不同领域的应用综述了该项技术在国内外的发展现状。比较了上述制备方法的优缺...
关键词：光学石英玻璃 化学气相沉积 等离子化学气相沉积 间接合成法 综述 
熔石英玻璃激光损伤阈值初步研究被引量：3
《建筑玻璃与工业玻璃》2015年第12期12-14,20,共4页王慧 王玉芬 向在奎 
熔石英玻璃在激光的辐照下会发生损伤而导致内部失透，提高熔石英玻璃激光损伤阈值有利于解决这个问题。论文通过实验研究了在不同熔制气氛、沉积速度与热处理方法下获得的熔石英玻璃其355nm的激光损伤阈值。为忽略表面质量引起的吸收...
关键词：激光损伤阈值 熔石英玻璃 热处理方法 熔制气氛 氧气气氛 沉积速度 表面质量 表面处理 
高性能石英玻璃精密退火工艺研究被引量：7
《武汉理工大学学报》2010年第22期149-152,共4页孔敏 隋梅 王慧 王佳佳 
高性能石英玻璃精密退火工艺研究
石英玻璃是应用非常广泛的高新技术材料。应用于X系统的石英玻璃除要求具备良好透光性能和耐宇宙射线辐照外,还要求大直径及厚度要求,其应力双折射为Ⅰ类和光学均匀性达到5×10-6。长期以来我国大尺寸(直径>20 cm)石英玻璃的光学均匀性...
关键词：高性能石英玻璃 精密退火 热应力 光学均匀性 
石英玻璃抛光质量对腐蚀形貌的影响被引量：4
《武汉理工大学学报》2009年第22期133-136,共4页邵竹锋 王慧 孙元成 
军工科研(YT-26)
抛光后的石英玻璃表面光滑、平整,经过HF酸腐蚀后表面形貌变得凹凸不平。为了解释该现象,从Weyl的亚表面理论着手,借助研磨、抛光破坏层模型和微裂纹扩展模型,详细阐述了微裂纹的存在、扩张机理。研磨、抛光后亚表面的微裂纹被认为是造...
关键词：石英玻璃 抛光 腐蚀 
太阳能电池概述被引量：10
《中国建材科技》2008年第6期67-69,共3页王慧 邵竹锋 
太阳能被列为清洁、高效能源而得到世界各国学者的重视,中国也不例外。国内目前的大量的太阳能电池企业极大地促进了国内太阳能电池技术的发展与成熟。基于光电效应,根据所用材料的不同,太阳能电池可分为:硅基太阳能电池和多元化合物薄...
关键词：能源危机 硅基太阳能电池 多元化合物薄膜电池 
抛光石英玻璃蚀前清洗机理及试验探讨被引量：3
《中国建材科技》2008年第6期42-46,共5页邵竹锋 孙元成 王慧 
对精密抛光后的Ⅳ类石英玻璃尝试各种方法进行清洗,对各种清洗方法进行系统研究和分析,并用原子力显微镜对清洗后的表面形貌进行观察。发现超声波配合表面活性剂的清洗方法能够去除残留的分子型杂质。用氧化法可以去除大部分的原子型和...
关键词：石英玻璃 清洗 超声波 表面活性剂 
溅射SiO_2薄膜动力学分析
《陶瓷》2008年第10期24-27,共4页王慧 
使用蒙特卡罗法模拟了SiO2薄膜的生长过程,并利用沉积中三过程(吸附、扩散、脱附)的速率公式推导分析沉积过程中温度和粒子入射能量对薄膜质量的影响。温度较低时(100℃),薄膜中的空位密度相对较高,随着温度的升高(300℃),薄膜中的空位...
关键词：蒙特卡罗法 SIO2薄膜 表面质量 
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