马志龙

作品数：4被引量：5H指数：1
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发文主题：磁控溅射靶发热元件溅射镀膜电磁更多>>
发文领域：金属学及工艺生物学农业科学更多>>
发文期刊：《核技术》《物理》《真空》更多>>
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低能离子束辐照氨基酸结构变化的傅立叶变换红外光谱法研究被引量：5
《核技术》2000年第4期213-218,共6页张冬梅 孙素琴 马志龙 陈国强 崔福斋 
国家自然科学基金!19874034
利用傅立叶变换红外光谱（ＦＴＩＲ）法研究了３０ｋｅＶ的Ｎ~＋离子束辐照引起氨基酸结构的变化。结果表明：经相同剂量Ｎ~＋离子束辐照后，天冬氨酸（Ａｓｐ）和苯丙氨酸（Ｐｈｅ）的基团有相似的变化规律，即羧酸根离子（ＣＯＯ）的 ...
关键词：低能离子注入 辐照效应 FTIR 辐射 氨基酸 
复合电磁磁控溅射靶及其镀膜方法
《物理》1992年第9期573-574,共2页范玉殿 马志龙 孙培芬 尤引娟 
关键词：磁控溅射靶 镀膜 溅射 复合电磁靶 
平面磁控溅射靶及其镀膜方法
《物理》1992年第9期572-573,共2页范玉殿 马志龙 孙培芬 尤引娟 
关键词：磁控溅射靶 平面 镀膜 溅射 
复合电磁磁控溅射靶
《真空》1989年第1期24-29,共6页范玉殿 马志龙 孙培芬 尤引娟 
国家自然科学基金委员会资助(合同号NSFC 9587007-03)
复合电磁靶是由两个电磁铁分别产生两个圆环状跑道磁场的新型磁控靶。两个跑道磁场的水平磁场均可连续调节，对应两个跑道磁场分别安装Ａ和Ｂ两种纯金属靶材，即可镀制合金膜。调节两个跑道磁场的场强对比，即可实现膜层的成分调节。复...
关键词：溅射装置 双靶 双磁控 
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