磁控溅射靶

作品数：37被引量：159H指数：7
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺更多>>
相关作者：张斌高凯雄张俊彦强力王健更多>>
相关机构：中国科学院中国电子科技集团公司第四十八研究所清华大学东北师范大学更多>>
相关期刊：《华南理工大学学报（自然科学版）》《电子科技大学学报》《现代电子技术》《仪器仪表学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金东莞市科技计划项目国际科技合作与交流专项项目辽宁省教育厅高等学校科学研究项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
圆筒式磁控溅射靶的磁场仿真与结构设计
《表面技术》2023年第8期371-379,共9页王栋 蔡长龙 弥谦 王麟博 刘桦辰 侯杰 
国家自然科学基金(11975177);西安市智能探视感知重点实验室资助项目(201805061ZD12CG45);西安市智能兵器重点实验室资助项目(2019220514SYS020CG042)。
目的探究一种可用于实现圆柱形工件外表面镀膜设备的可能性,设计了一种新型的圆筒式磁控溅射靶结构,溅射在圆筒状靶材内表面发生,从整个圆周方向对工件外表面镀膜,以改善传统长管工件镀膜设备体积庞大、结构复杂的不足。方法首先对圆筒...
关键词：磁控溅射靶 磁场仿真 有限元分析 优化 结构设计 圆筒式 
基于数值模拟的矩形磁控溅射靶磁场结构设计及分析
《热加工工艺》2023年第12期126-130,共5页张而耕 吴昌 陈强 周琼 
上海应用技术大学中青年科技人才发展基金项目(ZQ2020-24);上海市自然科学基金项目(20ZR1455700);国家自然科学基金项目(51971148)。
针对磁控溅射沉积涂层技术中存在着的靶材利用率低和刻蚀不均匀等问题,基于计算机数值模拟仿真技术,通过对矩形平面磁控溅射靶材的内、外磁铁结构参数的设计,以及导磁片长度和厚度的设置,模拟分析内、外磁铁和导磁片在不同结构参数条件...
关键词：磁控溅射靶 Comsol模拟 磁场分布 导磁片 
基于COMSOL的磁控溅射靶磁场的优化仿真被引量：2
《数字印刷》2021年第6期89-96,共8页刘壮 迟晨阳 郭帆 许晓伟 
磁控溅射靶磁场的优化一直是磁控溅射的关键性问题,靶磁场的优化可有效提高靶材利用率,从而降低工业镀膜成本。本研究利用磁轭的磁化作用,通过磁轭结构形状的设计,使磁轭产生更多的磁极,与磁铁形成更多的环形磁路,增加刻蚀环,提高靶材...
关键词：磁控溅射 靶磁场 靶材利用率 
圆筒式柱面磁控溅射靶的磁场设计与仿真研究被引量：5
《人工晶体学报》2021年第9期1765-1773,共9页杨欣蕾 弥谦 龚立榕 周凤琳 
开放基金(ZSKJ202002)。
为探究一种可实现向心溅射的圆筒式柱面磁控阴极靶,需要对靶装置内的磁场分布进行研究,进一步讨论靶结构参数对其磁场分布的影响规律。本文根据磁控靶的结构与工作原理,利用COMSOL Multiphysics有限元分析软件中AC/DC接口,对靶进行三维...
关键词：磁控溅射 磁场分布 圆柱靶 有限元分析 COMSOL 结构参数 真空镀膜 设计与仿真 
四米槽式太阳能真空集热管镀膜设备的发展概述被引量：1
《真空》2021年第2期20-26,共7页陈志涛 
本文主要介绍了制备四米槽式太阳能真空集热管的间歇式单体镀膜机和自动连续镀膜线,对两种类型设备的优缺点和存在的问题进行了对比分析,可以为其他行业镀膜设备的设计改进提供借鉴。
关键词：光热发电 槽式太阳能真空集热管 圆柱磁控溅射靶 平面磁控溅射靶 
基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析被引量：5
《机械制造与自动化》2021年第1期96-98,106,共4页王雪 程磊 徐锋 贾昆鹏 左敦稳 
国家自然科学基金项目(51575269);江苏省六大人才高峰资助计划项目(ZBZZ-005)。
磁控溅射靶表面磁场分布与靶材刻蚀特性、薄膜沉积均匀性密切相关。为确定合适的磁控靶结构参数以改善靶材表面水平磁场分布均匀性,采用Comsol软件建立矩形平面磁控溅射靶三维模型,对靶材表面磁场分布进行模拟与分析,研究永磁体结构尺...
关键词：磁控溅射 Comsol 结构参数 磁场分布 
基于磁控溅射靶的磁场分布优化被引量：8
《大连交通大学学报》2019年第4期108-111,共4页石晓倩 于荣环 乌云额尔德尼 臧侃 郭方准 
辽宁省教育厅高等学校科学研究计划资助项目(JDL2017032);辽宁省“百千万人才工程”培养经费资助项目
研究了自主研发的两种磁控溅射靶,分别用于溅射非强磁性材料的普通靶和溅射强磁性材料的强磁靶.溅射靶工作时,靶阴极表面的磁场约束带电粒子并提高氩离子体密氩离子轰击靶材而实现溅射镀膜.通过模拟溅射靶的磁场强度分布,优化了磁极形...
关键词：磁控溅射 辉光放电 磁场强度分布 薄膜 
全自动磁控溅射镀膜设备及工艺的研究被引量：2
《电子工业专用设备》2018年第1期21-24,共4页毛朝斌 佘鹏程 范江华 罗超 陈特超 
溅射镀膜作为薄膜混合集成电路的重要环节,在厂商要求保证工艺质量的前提下,希望提高设备的自动化程度,减少靶间污染。介绍了一种用于磁控溅射镀膜设备,着重介绍了该系统关键部件溅射镀膜腔室和真空机械手腔室;该系统结构简单,控制效果...
关键词：磁控溅射 磁控溅射靶 机械手 
矩形磁控溅射靶电磁场分析及优化被引量：1
《电子工业专用设备》2017年第4期35-38,共4页佘鹏程 陈立宁 程文进 龚俊 陈长平 
对矩形溅射靶电磁场进行了仿真分析,优化设计,从而优化溅射靶表面电磁场分布,增大均匀沉膜区域范围,提高靶材利用率。
关键词：磁控溅射 溅射靶 电磁场 靶材利用率 
基于Comsol的双环磁控溅射靶的磁场模拟分析被引量：4
《人工晶体学报》2016年第6期1696-1702,共7页薛莹洁 陈海峰 
影响靶材刻蚀特性的主要因素来自平行靶面的磁场分布,为了得到更优的磁控靶结构参数以实现靶面水平磁感应强度的均匀分布,本文利用Comsol软件对双环磁控溅射靶的靶面水平磁感应强度分布进行模拟分析,得出了当内磁环高度h=10 mm,外磁环...
关键词：双环磁控溅射靶 Comsol模拟 水平磁感应强度 结构参数 
全选清除导出
共4页<1234>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部