何渝

作品数：14被引量：39H指数：4
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：光刻数字微镜衍射工件台成像更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《光学学报》《中国激光》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
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基于改进Gerchberg-Saxton算法的全息双面光刻方法被引量：3
《激光与光电子学进展》2023年第16期61-67,共7页王化宾 何渝 赵立新 
针对目前双面微器件加工方法步骤繁琐、效率低的问题,提出基于改进Gerchberg-Saxton(GS)算法的全息双面光刻方法,使用单个光源在玻璃基底的上下表面同时曝光,进行双面图形的制作。该方法通过计算不同轴向位置图案对应的组合全息图,并将...
关键词：计算全息 微纳制造 双面光刻 光场调控 全息算法 
基于计算全息的斜面和曲面光刻
《红外与激光工程》2022年第11期360-366,共7页王虎 何渝 
国家自然科学基金面上项目(61975211)。
斜面和曲面微结构元件在微电子学、微光学、微流体学等领域有着重要的应用,为了实现快速、低成本的斜面和曲面光刻,提出了利用基于液晶空间光调制器的纯相位计算全息技术投影目标图案到斜面和曲面进行曝光的方法。生成了斜面和球面全息...
关键词：计算全息 曲面投影 光刻 
同步微离轴数字全息显微系统的空间失配标定方法
《光电工程》2022年第9期70-80,共11页金川 何渝 唐燕 刘俊伯 孙海峰 胡松 
国家自然科学基金资助项目(61875201,61975211,62005287,61604154);四川省中央政府引导地方科技发展资助项目(2020ZYD020);四川省优秀青年科技人才计划(2020JDJQ0005).
现有的空间失配标定方法受原理限制只能实现像素级的标定精度,且易受环境噪声干扰。本文提出了一种亚像素级的同步微离轴数字全息显微系统的空间失配标定方法。该方法在建模时不仅分析了图像分割导致的横向位置误差,还进一步考虑了传感...
关键词：微离轴数字全息 空间失配标定 粒子群优化算法 
均匀球面波数字同轴全息生物显微方法被引量：4
《光电工程》2019年第1期14-20,共7页田鹏 严伟 李凡星 杨帆 吴云飞 何渝 
四川省科技支撑计划(2015JQ0009);国家自然科学基金项目(61705232)~~
传统的小孔球面波数字同轴全息受小孔的不确定度影响,成像质量并不理想。本文提出一种产生均匀球面波得到宽视场高分辨的显微成像方法。激光经过扩束镜、显微物镜后聚焦成一个极小的光斑,调节针孔阵列与焦点的距离,针孔直径与焦斑相配...
关键词：数字同轴全息 均匀球面波 生物显微 
利用光子筛产生局域空心光束被引量：5
《光学学报》2015年第7期64-69,共6页程依光 刘俊伯 胡松 何渝 
国家自然科学基金(61376110)
为了寻找一种简单有效的产生局域空心光束的方法,提出了一种利用交错型光子筛产生空心光束的方法。通过光子筛的内部区域和外部区域相消达到轴上光强为零的目的。给出了光子筛的结构和设计参数,对空心光束中心暗斑尺寸和光子筛焦距、环...
关键词：衍射 光子筛 局域空心光束 光镊 
基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法被引量：7
《光学学报》2015年第2期194-199,共6页冯金花 胡松 李艳丽 何渝 
国家自然科学基金(61376110)
随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位...
关键词：测量 纳米检焦 相位解析 光弹调制 横向剪切板 
DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计被引量：1
《微纳电子技术》2014年第10期673-678,共6页冯金花 胡松 李艳丽 何渝 
根据无掩模光刻机的整体结构和工作流程,开发了一款适用于DMD无掩模光刻机的曝光软件。对系统进行了整合,运用开发环境VS2010实现了各个独立的模块的设计。通过串口通信的方式与下位机建立连接,实现对工件台的控制;依托Access2007创建...
关键词：无掩模光刻 数字光刻 数据管理 调焦 对准 
光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法被引量：6
《中国激光》2013年第1期187-191,共5页朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 何渝 
国家自然科学基金(60976077;61076099)资助课题
双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点,适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量,实际应用中要求掩模光栅标记与硅片光栅标记高度平行。掩模光栅标记在CCD中成像通常存在一定的倾斜角。由此,在已提出的相位斜率倾斜条纹...
关键词：光栅 掩模光栅 光刻对准 角度标定 叠栅条纹 
光子筛透镜组合的折衍混合消色差系统设计
《中国激光》2012年第12期226-230,共5页何渝 赵立新 唐燕 陈铭勇 朱江平 
国家自然科学基金(61076099)资助课题
光子筛作为一种衍射光学元件,具有较大的色散,不适用于宽光谱成像。光子筛的焦距随着入射波长的增大而减小,而正的折射透镜焦距随着入射波长的增大而增大。应用了折衍混合方法进行光子筛消色差的设计。该设计利用二者相反的色散特性,在...
关键词：几何光学 光子筛 色差 折衍混合 
基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究被引量：1
《中国激光》2012年第9期163-167,共5页朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 刘旗 何渝 
国家自然科学基金(60976077;61076099)资助课题
针对接近接触式光刻技术的特点,提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术,以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器件(CCD)成像系统接...
关键词：光栅 光刻对准 反射式光路 叠栅条纹 光栅标记 
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