李安杰

作品数：4被引量：10H指数：2
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供职机构：中国科学院空间科学与应用研究中心更多>>
发文主题：离子源镀膜光学镀膜离子束辅助镀膜光学薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术航空宇航科学技术核科学技术更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《核技术》《真空科学与技术学报》《光学仪器》更多>>
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用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计被引量：7
《真空科学与技术学报》2004年第6期451-454,共4页尤大伟 黄小刚 任荆学 李安杰 
采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜 ,已越来越得到人们的共识。本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑 ,并获得了稳定运行的高性能离子源。
关键词：宽束 离子源 薄膜制备 光学薄膜 离子束 感应线圈 匹配 射频 镀膜 高性能 
走向光学工业应用的辅助镀膜霍尔等离子体源被引量：4
《核技术》2002年第9期679-683,共5页尤大伟 李安杰 江建国 武建军 黄小刚 
论述了霍尔等离子体源的工作原理 ,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布。本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场 ,及沿轴向有较大梯度的磁场 。
关键词：光学工业 霍尔等离子体源 光学镀膜 离子束辅助镀膜 工作原理 霍尔电流加速器 
光学镀膜用大束密均匀区离子源
《光学仪器》2001年第5期53-57,共5页况园珠 郑保民 李安杰 
介绍一个适用于光学镀膜用的直径为1 2 0 mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数 。
关键词：离子源 束流密度 均匀性 光学薄膜 离子束辅助镀膜 
辅助沉积线状(3×20cm)离子源设计
《微细加工技术》1993年第3期39-42,共4页尤大纬 李安杰 黄小刚 
线状离子源适合于大面积材料的连续溅射改性过程。多极场设计技术在3×20cm线状离子源的放电室中有很好的应用。
关键词：线状离子源 多极场设计 溅射 镀膜 
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