屈芙蓉

作品数：5被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：原子层沉积前驱体腔体PIII薄膜封装更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学文化科学更多>>
发文期刊：《中国科技博览》《半导体技术》《半导体光电》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院科研装备研制项目更多>>
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原子层沉积技术生长单质钨薄膜
《半导体技术》2022年第9期699-703,共5页王浙加 冯嘉恒 夏洋 明帅强 屈芙蓉 
国家重点研发计划资助项目(2018YFF01012700);中国科学院关键技术团队项目(GJJSTD20200003)。
采用热型原子层沉积(ALD)技术在单晶硅基底上成功制备了单质钨薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、掠入射X射线衍射仪(GIXRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、四探针测试仪对样品的生长速率、晶体结构、薄膜成分以及电阻率进行了表征和...
关键词：原子层沉积(ALD) 钨 电阻率 多晶薄膜 Β相 
集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制被引量：2
《真空科学与技术学报》2020年第11期1096-1102,共7页杨胜 夏洋 兰丽丽 陶晓俊 冯嘉恒 明帅强 卢维尔 屈芙蓉 刘涛 
运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的...
关键词：原子层沉积 磁控溅射 薄膜制备 集束型设备 
全自动荧光粉涂覆工艺研究被引量：1
《半导体技术》2013年第4期288-291,共4页刘杰 刘键 冷兴龙 屈芙蓉 刘俊标 吴茹菲 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目;广东省科学技术厅项目(00946220118632064)
自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,通过扫描电子显微镜研究真空搅拌除泡处理时间对涂覆质量的影响,结果发现未经真空搅拌除泡处理的荧光粉涂覆层中有直径达140μm的气泡,且涂覆层厚度均匀性较差;经过20和40 s真...
关键词：LED 荧光粉涂覆 真空搅拌除泡 涂覆层厚度均匀性 LED发光特性 
全自动荧光粉涂覆工艺及设备研究
《半导体光电》2013年第1期66-68,共3页刘杰 刘键 冷兴龙 屈芙蓉 刘俊标 吴茹菲 
广东省科学技术厅项目(00946220118632064);国家"973"计划项目(2010CB327702)
自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,研究了有无真空搅拌除泡装置对荧光粉涂覆效果的影响,结果发现未经真空搅拌除泡处理的荧光粉涂覆层厚度均匀性较差,且涂覆层中有明显的气泡,气泡直径可达1mm;经过真空搅拌除泡...
关键词：LED 荧光粉涂覆 真空搅拌除泡装置 
基于LabVIEW的伺服电机寻原点策略的实现
《中国科技博览》2012年第3期119-120,共2页李浩 田沛 李超波 夏洋 屈芙蓉 赵章琰 
伺服电机已经成为我们各个行业中不可缺少的执行单元，为我们的国民生产做出了重要贡献。伺服电机一般都是要以原点为参考点，从而实现定位，所以寻原点的重复精度非常重要。本文介绍了伺服系统的组成，以及寻原点的工作过程，分析了影...
关键词：伺服 寻原点 LABVIEW 
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