侯利程

作品数：4被引量：1H指数：1
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供职机构：上海大学机电工程与自动化学院机械自动化工程系更多>>
发文主题：硅表面粗糙度MEMS微机械平板更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《润滑与密封》《摩擦学学报（中英文）》《功能材料与器件学报》《机械设计与研究》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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MEMS动平板的切向静电阻力
《摩擦学学报》2008年第6期517-523,共7页沈雪瑾 侯利程 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
由于微机械的表面积与体积之比远大于宏机械,所以微机械中的表面阻力难以忽略,为了改善MEMS器件的性能和可靠性,必须对其影响进行研究.基于能量守衡法,本文建立了光滑平板和正方形、四棱锥两种微凸体粗糙表面平板的切向静电阻力模型,讨...
关键词：MEMS 微摩擦 静电阻力 表面粗糙度 
微间隙液体粘性阻力分析
《功能材料与器件学报》2008年第1期121-124,共4页戚伟俊 沈雪瑾 侯利程 吴文蕾 李科委 
国家自然科学基金重点项目(No.50135040)
微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响。通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的...
关键词：微机电系统 微间隙平板 液体粘性阻力 
硅微机械动平板表面粘附阻力被引量：1
《润滑与密封》2006年第7期64-67,共4页沈雪瑾 侯利程 刘谨 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
以MEMS动平板模型为研究对象,建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型,利用界面化学中表面能和粘附功的概念,推导出了光滑平板和开孔平板的表面粘附阻力公式,并探讨了影响表面粘附阻力的诸多因素。在此基础上还设计了拉簧-平板-弯簧...
关键词：微机械 微间隙平板 表面力 表面粘附阻力 
微谐振器中静电切向阻力的仿真分析
《机械设计与研究》2006年第3期44-46,56,共4页侯利程 沈雪瑾 陈晓阳 王旭 
国家自然科学基金重点资助项目(50135040)
微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元,但其工作在静电场中的部分构件,因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器为一微平行板电容模型,利用有限元仿真软件ANSYS对光滑与粗糙表面平板所受到的静电切向阻力进行了仿真...
关键词：微谐振器 静电阻力 表面粗糙度 ANSYS 
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