曲凤钦

作品数：3被引量：12H指数：2
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无马达驱动的旋转圆柱形磁控溅射器被引量：1
《真空科学与技术》2001年第5期416-418,共3页黄士勇 曲凤钦 苗晔 钟玉荣 孟兆坤 傅胜奇 
在大型薄膜连续生产线中 ,磁控溅射器的溅射速率、使用周期是影响生产效率与成本的重要因素。本文提出一种新型的无马达驱动的具有高溅射速率、高靶材利用率、长的靶使用周期、安装与使用简单的磁控溅射器。可广泛应用于各类大。
关键词：磁控溅射 水冷系统 旋转圆柱形磁控溅射器 薄膜 生产设备 
高靶材利用率的新型磁控溅射器被引量：6
《真空科学与技术》2000年第2期123-125,共3页黄士勇 曲凤钦 苗晔 孟兆坤 
在现代大型薄膜连续生产线中 ,其生产效率主要受以下两因数的影响 :溅射器的沉积速率和靶材的使用周期。本实验研制了一种圆筒形靶材绕溅射器中心轴线匀速旋转 ,并且与溅射器之间用螺丝固定连接的新型磁控溅射器。论述了新型溅射器的结...
关键词：磁控溅射器 使用周期 薄膜生产 靶材利用率 
真空和射频溅射对ITO膜性能的影响被引量：6
《真空》1999年第2期15-17,共3页黄士勇 曲凤钦 苗晔 
为进一步探求磁控溅射的机理，本文通过用直流和射频两种磁控溅射沉积ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）膜的方法，由沉积后的ＩＴＯ膜的特性来揭示不同溅射方法的机制。
关键词：磁控溅射 ITO膜 薄膜 锡铟氧化物 性能 
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