肖文锐

作品数:1被引量:3H指数:1
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三端自由高压LDMOS器件设计被引量:3
《微电子学》2004年第2期189-191,共3页肖文锐 王纪民 
 应用RESURF原理,设计了三端自由的高压LDMOS器件。采用虚拟制造技术,分析比较了多种结构,对器件结构进行了优化。设计了与常规CMOS兼容的高压器件结构的制造方法和工艺。采用虚拟制造,得到NMOS和PMOS虚拟器件,击穿电压分别为350V和320V。
关键词:LDMOS RESURF 三端自由 虚拟制造 高压器件 击穿电压 
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